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国家自然科学基金(10575097)
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周洪军
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郑津津
蒋新亭
钟鹏飞
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周洪军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
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霍同林
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:多层膜 真空紫外 软X射线 磁控溅射 光束线
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钟鹏飞
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:光学元件 英文 高次 臭氧 氧原子
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郑津津
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
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蒋新亭
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:性能研究 传输性能 AR 硅光电二极管 光电离截面
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王瑜
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:非均匀B样条曲面 曲面重构 铝盐 烯酸 异相催化
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刘颖
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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沈连婠
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
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贺胜男
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:衍射效率 高次谐波 单色仪 真空紫外 波段
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