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国家自然科学基金(69871029)

作品数：2 被引量：7H指数：1
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夏善红
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈绍凤
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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