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国家自然科学基金(N060371046)
作品数:
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相关作者:
李幼真
刘正
陈海波
周继承
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刘正
供职机构:中南大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 N 铜互连 磁控溅射
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陈海波
供职机构:中南大学物理与电子学院
研究主题:TA N 纳米 集成电路 扩散阻挡层
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周继承
供职机构:中南大学
研究主题:磁控溅射 计算机模拟 热脱脂 粉末冶金 硬质合金
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所获资助
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李幼真
供职机构:中南大学物理与电子学院
研究主题:扩散阻挡层 TA 阻挡层 N 沉积速率
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黄迪辉
供职机构:中南大学物理与电子学院
研究主题:磁控溅射 常压 CIS SICN 靶材
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