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天津市重大科技攻关项目(043801211)

作品数：4 被引量：28H指数：4
相关作者：刘玉岭王娟李薇薇周建伟檀柏梅更多>>
相关机构：河北工业大学中国工程物理研究院更多>>
发文基金：天津市重大科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 9个金属学及工艺
  • 9个电子电信
  • 8个一般工业技术
  • 7个化学工程
  • 6个自动化与计算...
  • 6个文化科学
  • 6个理学
  • 5个电气工程
  • 4个环境科学与工...
  • 3个哲学宗教
  • 3个机械工程
  • 3个动力工程及工...
  • 3个建筑科学
  • 3个交通运输工程
  • 2个经济管理
  • 2个矿业工程
  • 2个自然科学总论
  • 1个冶金工程
  • 1个医药卫生
  • 1个政治法律

主题

  • 8个电路
  • 7个氮化
  • 7个应力
  • 6个大学生
  • 6个氮化钛
  • 6个多胺
  • 6个多层布线
  • 5个单晶
  • 5个低K介质
  • 5个电极
  • 5个电偶
  • 5个电偶腐蚀
  • 5个电器件
  • 4个单晶片
  • 4个电池
  • 4个电化学
  • 3个单晶硅
  • 3个低K材料
  • 3个低K介质材料
  • 3个底片

机构

  • 8个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个北京工业大学
  • 1个天津工业大学
  • 1个天津大学
  • 1个中国工程物理...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...

资助

  • 9个天津市重大科...
  • 8个国家自然科学...
  • 8个天津市自然科...
  • 7个河北省自然科...
  • 5个国家科技重大...
  • 5个国家中长期科...
  • 5个河北省教育厅...
  • 4个国家教育部博...
  • 4个天津市重点学...
  • 3个河北省科技计...
  • 3个天津市科技攻...
  • 2个天津市科技计...
  • 2个博士后科研启...
  • 2个河北省高等学...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个中国工程物理...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个新疆维吾尔自...

传媒

  • 8个半导体技术
  • 7个河北工业大学...
  • 7个微纳电子技术
  • 7个第十四届全国...
  • 6个天津科技
  • 6个Journa...
  • 6个电子工艺技术
  • 6个电子器件
  • 6个微电子学
  • 6个微细加工技术
  • 6个第十三届全国...
  • 5个纳米技术与精...
  • 4个功能材料
  • 3个稀有金属材料...
  • 3个硅酸盐学报
  • 3个电镀与涂饰
  • 3个表面技术
  • 3个稀有金属
  • 3个人工晶体学报
  • 3个电子工业专用...

地区

  • 8个天津市
  • 1个四川省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李薇薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广福
供职机构：河北工业大学
研究主题：清洗剂 LCD CMP 乙二胺四乙酸 非离子表面活性剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建新
供职机构：天津工业大学
研究主题：等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
舒行军
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：箔片轴承 动压 高速永磁电机 小径管 轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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