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上海市科学技术发展基金(0359nm004)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：张苗王石冶刘卫丽宋志棠林成鲁更多>>
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领域

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主题

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机构

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  • 2个中科院上海微...
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资助

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传媒

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地区

  • 5个上海市
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刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王石冶
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 高压器件 高压器 击穿电压 介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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