您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(2006CB302704)

作品数：6 被引量：10H指数：1
相关作者：徐秋霞周华杰许高博刘明李海欧更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 11个电子电信
  • 7个金属学及工艺
  • 7个理学
  • 6个电气工程
  • 5个机械工程
  • 5个自动化与计算...
  • 5个一般工业技术
  • 4个经济管理
  • 4个文化科学
  • 3个轻工技术与工...
  • 2个化学工程
  • 2个矿业工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学
  • 1个生物学
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程

主题

  • 11个氧化层
  • 10个等效氧化层厚...
  • 10个压应力
  • 10个氧化层厚度
  • 10个应力
  • 10个晶体管
  • 10个沟道
  • 10个半导体
  • 9个掺杂
  • 9个衬底
  • 8个多晶
  • 8个异质结
  • 8个硅衬底
  • 7个电子束
  • 7个氧化硅
  • 6个氮化
  • 6个导体
  • 5个电池
  • 4个电镜
  • 4个原位

机构

  • 9个中国科学院
  • 8个中国科学院微...
  • 3个北京大学
  • 3个中国科学院微...
  • 3个中国科学院大...
  • 2个西安交通大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个南京大学
  • 1个兰州大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个青岛大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中国科学院长...

资助

  • 11个国家重点基础...
  • 10个国家自然科学...
  • 6个国家高技术研...
  • 5个国家攀登计划
  • 3个国家科技重大...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个科技部基础研...
  • 2个中国科学院重...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个国防科技重点...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个山东省优秀中...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个中国科学院科...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个国家重大科学...
  • 1个河北省自然科...

传媒

  • 10个Journa...
  • 7个物理学报
  • 7个电子器件
  • 7个功能材料与器...
  • 6个半导体技术
  • 6个微电子学
  • 6个第十四届全国...
  • 5个第二届全国电...
  • 5个第二届全国纳...
  • 5个第十二届全国...
  • 5个第十二届全国...
  • 5个第十一届全国...
  • 4个物理
  • 4个固体电子学研...
  • 4个微纳电子技术
  • 4个第十五届全国...
  • 3个光子学报
  • 3个微电子学与计...
  • 3个光电工程
  • 3个微细加工技术

地区

  • 11个北京市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周华杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高博
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩郑生
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王大海
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：垂直腔面发射激光器 GAN 半导体器件 晶圆片 散热能力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘海华
供职机构：中国科学院物理研究所
研究主题：应变硅 磁畴 坡莫合金 PMOSFET 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱鹤
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海欧
供职机构：中国科学院物理研究所
研究主题：EOT CMOS器件 CMOS 压应力 等效氧化层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0