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国家自然科学基金(60304019)

作品数：4 被引量：18H指数：2
相关作者：车录锋徐志农卢云王跃林王俊杰更多>>
相关机构：中国科学院浙江大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

领域

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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王俊杰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：静电 MEMS加速度传感器 检测电路 高Q值 微陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐志农
供职机构：浙江大学
研究主题：超声波 超声检测 传动精度 机座 水泵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢云
供职机构：浙江大学航空航天学院
研究主题：封装 微加速度传感器 有限元模拟 不可压缩流 分块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴浩
供职机构：中国科学院
研究主题：径级结构 物种组成 MEMS 动力学方程 电容式加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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