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国家自然科学基金(50972144)

作品数：2 被引量：2H指数：1
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
刘改红
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：微细电解加工 电极 阵列电极 微细加工技术 微细电化学加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：微细电火花加工 微小型 微型机械 蠕动式 微细加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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