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国际科技合作与交流专项项目(2011DFR10010)

作品数：23 被引量：160H指数：9
相关作者：黄惠杰杨宝喜朱菁曾爱军巩岩更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>

领域

  • 37个机械工程
  • 35个理学
  • 34个电子电信
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  • 3个政治法律
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  • 2个建筑科学
  • 2个核科学技术
  • 2个农业科学

主题

  • 36个光学
  • 33个光学设计
  • 29个衍射
  • 29个照明
  • 29个光刻
  • 29个光刻机
  • 27个图像
  • 27个激光
  • 26个透镜
  • 25个光学系统
  • 25个光学元件
  • 24个照明系统
  • 24个偏振
  • 24个感器
  • 21个信号
  • 19个信号处理
  • 19个探测器
  • 18个衍射光学
  • 18个衍射光学元件
  • 17个数据采集

机构

  • 29个中国科学院上...
  • 20个中国科学院大...
  • 16个中国科学院研...
  • 9个中国科学院
  • 8个中国科学院长...
  • 3个解放军电子工...
  • 1个长春理工大学
  • 1个国防科学技术...
  • 1个华中科技大学
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  • 1个西安工业大学
  • 1个中国科学院国...
  • 1个电子工程学院
  • 1个中国科学院长...
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 39个国际科技合作...
  • 24个国家自然科学...
  • 24个国家科技重大...
  • 16个上海市科技人...
  • 11个上海市自然科...
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  • 6个国家杰出青年...
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  • 4个上海市科委纳...
  • 4个上海市科委国...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个吉林省科技发...
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  • 3个上海市“科技...
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  • 3个中国科学院知...
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传媒

  • 35个光学学报
  • 30个中国激光
  • 20个激光与光电子...
  • 14个光子学报
  • 10个第十五届全国...
  • 8个光学精密工程
  • 8个仪器仪表学报
  • 8个物理学报
  • 8个光电工程
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  • 6个光电子．激光
  • 5个强激光与粒子...
  • 5个上海市激光学...
  • 5个第十六届全国...
  • 4个光学技术
  • 4个光学仪器
  • 4个中国光学与应...
  • 4个中国光学
  • 3个量子电子学报
  • 3个电子测量技术

地区

  • 27个上海市
  • 5个吉林省
  • 3个安徽省
  • 3个江苏省
  • 1个北京市
共 39 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
巩岩
供职机构：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题：光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春才
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：自适应光学 自动调焦 照明光学系统 光学设计 变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：部分相干光 光学设计 光学光刻 光刻机 离轴照明
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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