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国家自然科学基金(60938003)

作品数：23 被引量：134H指数：8
相关作者：李艳秋王向朝步扬刘克曹宇婷更多>>
相关机构：北京理工大学中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院研究生院更多>>
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相关领域：机械工程理学电子电信航空宇航科学技术更多>>

领域

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机构

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资助

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传媒

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地区

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共 37 条 记 录，以下是 1-10
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹宇婷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：掩模 光刻机 像差 投影物镜 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘晓林
供职机构：北京理工大学
研究主题：光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周远
供职机构：长沙学院
研究主题：成像系统 举高喷射消防车 上位机控制 滚球 摄像头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄旭锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：数据采集卡 大气偏振 时分复用 偏振光 偏振调制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张雪冰
供职机构：北京理工大学
研究主题：斯托克斯参量 误差补偿 偏振态 偏振光 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李建慧
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：成像 1/4波片 斯托克斯参量 MUELLER矩阵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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