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上海市青年科技启明星计划(06QB14047)
作品数:
7
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相关作者:
王向朝
曾爱军
黄惠杰
何国田
胡建明
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中国科学院上海光学精密机械研究所
上海恒益光学精密机械有限公司
中国科学院研究生院
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
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何国田
供职机构:重庆大学
研究主题:磁流变液 测量范围 表面形貌 正弦相位调制 分束器
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胡建明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 调制技术 米勒矩阵 测量方法 光学测量
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杨坤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:移相 衍射 信号处理系统 聚焦透镜 起偏器
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江晓军
供职机构:上海第二工业大学
研究主题:平面光学元件 粉体 工业相机 偏差值 条纹分析
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郭小娴
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:同步移相 移相 移相器 衍射 安全数码卡
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王华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大气湍流 大气光学 单色 时间相干性 空间相干性
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