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上海市科委国际合作基金(051107085)
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12
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王向朝
杨坤
王华
曾爱军
何国田
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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杨坤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:移相 衍射 信号处理系统 聚焦透镜 起偏器
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何国田
供职机构:重庆大学
研究主题:磁流变液 测量范围 表面形貌 正弦相位调制 分束器
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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王华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大气湍流 大气光学 单色 时间相干性 空间相干性
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刘英明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:正弦相位调制 激振 光源 准直器 光纤耦合器
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郑德锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:角位移 反光镜 光束 信号放大器 模数转换器
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步扬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
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唐锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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步鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:析图 正弦相位调制 层析成像方法 光场 全光
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