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国家科技攻关计划(2002BA906A26)
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卢明臻
崔建军
高思田
杜华
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卢明臻
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 激光干涉仪 干涉仪 纳米
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杜华
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 膜厚
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崔建军
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 校准装置 校准 测量不确定度 空气折射率
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高思田
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 探针
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