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国家高技术研究发展计划(2007BAQ01750)
作品数:
2
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相关作者:
汤建华
刘立峰
田兴志
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相关机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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刘立峰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:激光调阻 激光调阻机 压头 封装设备 控制系统
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汤建华
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:激光调阻 激光调阻机 激光 光刻 电阻阻值
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田兴志
供职机构:长春理工大学机电工程学院
研究主题:激光调阻 光刻 控制系统 薄膜电阻 激光
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