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国家自然科学基金(90101012)

作品数：7 被引量：19H指数：3
相关作者：林成鲁张苗宋志棠林青谢欣云更多>>
相关机构：中国科学院同济大学武汉大学更多>>
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相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

领域

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  • 6个电气工程
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主题

  • 14个SOI
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  • 6个氮化硅
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  • 5个氮化硅薄膜
  • 5个电路工艺

机构

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  • 5个中国科学院上...
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  • 1个浙江大学
  • 1个新疆大学
  • 1个中山大学

资助

  • 18个国家自然科学...
  • 16个国家重点基础...
  • 6个上海市科学技...
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  • 4个上海市自然科...
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传媒

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  • 4个无机材料学报
  • 4个微纳电子技术
  • 4个第十二届全国...
  • 3个无机化学学报
  • 3个武汉理工大学...
  • 3个化学学报

地区

  • 16个上海市
  • 1个湖北省
  • 1个北京市
共 18 条 记 录，以下是 1-10
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林青
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱鸣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：浮体效应 SOI器件 固体电子学 自加热效应 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢欣云
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门传玲
供职机构：上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题：碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋华清
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI材料 电学性能 阳极键合 单晶硅 单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴雁军
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 吸杂 ALN薄膜 绝缘层上硅 离子束增强沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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