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中国博士后科学基金(201104598)
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周平
金洙吉
康仁科
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周平
供职机构:大连理工大学
研究主题:抛光垫 抛光 密封环 硬脆材料 粗糙度
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金洙吉
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光 超精密加工 抛光液 金刚石
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赵杰
供职机构:大连海事大学
研究主题:弹流润滑 化学机械平坦化 晶圆 转动惯量 数值模拟研究
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柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
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李治伟
供职机构:大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题:弹性体 薄层 刚度分析 接触刚度 有限元分析
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郭东明
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 天线罩 抛光 硅片 抛光液
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康仁科
供职机构:大连理工大学
研究主题:超声 砂轮 蜂窝芯 化学机械抛光 刀具
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