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国家自然科学基金(50572012)
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相关作者:
徐军
邓新绿
丁万昱
陆文琪
董闯
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丁万昱
供职机构:大连交通大学
研究主题:磁控溅射 晶面 薄膜热电偶 多晶 非晶
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邓新绿
供职机构:大连理工大学
研究主题:磁控溅射 类金刚石膜 类金刚石薄膜 等离子体诊断 性能研究
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徐军
供职机构:教育部
研究主题:磁控溅射 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 类金刚石薄膜 类金刚石
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董闯
供职机构:大连理工大学
研究主题:强流脉冲电子束 团簇 合金 电弧离子镀 ZR
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陆文琪
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院
研究主题:等离子体诊断 探针 电子温度 等离子体 磁控溅射
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