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国家高技术研究发展计划(2006AA03Z355)

作品数：6 被引量：22H指数：3
相关作者：胡松蒋文波朱效立严伟刘明更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>

领域

  • 20个机械工程
  • 20个电子电信
  • 19个自动化与计算...
  • 19个理学
  • 18个一般工业技术
  • 12个文化科学
  • 11个金属学及工艺
  • 8个经济管理
  • 8个电气工程
  • 6个化学工程
  • 5个生物学
  • 5个动力工程及工...
  • 5个轻工技术与工...
  • 5个交通运输工程
  • 5个核科学技术
  • 5个医药卫生
  • 5个农业科学
  • 5个自然科学总论
  • 4个建筑科学
  • 2个航空宇航科学...

主题

  • 20个光刻
  • 18个衍射
  • 18个纳米
  • 17个等离子体
  • 17个掩模
  • 16个刻蚀
  • 15个电子束曝光
  • 15个图像
  • 14个投影光刻
  • 13个电路
  • 13个电子束
  • 13个信号
  • 13个照明
  • 11个电子束曝光机
  • 10个电子束光刻
  • 10个电子束直写
  • 9个电子束曝光系...
  • 9个条纹
  • 8个调平
  • 8个定影

机构

  • 13个中国科学院
  • 9个中国科学院微...
  • 7个中国科学院研...
  • 4个中国科学院微...
  • 3个兰州大学
  • 2个安徽大学
  • 2个北京大学
  • 2个许昌职业技术...
  • 1个合肥学院
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个南京大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个天津大学

资助

  • 21个国家高技术研...
  • 20个国家自然科学...
  • 13个国家重点基础...
  • 10个国家科技重大...
  • 7个中国科学院知...
  • 4个国家杰出青年...
  • 4个“九五”国家...
  • 4个国家重大科学...
  • 4个国家重点实验...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个成都市科技攻...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个全球变化研究...
  • 2个北京市科技新...
  • 2个国家科技攻关...
  • 2个吉林省科技攻...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个国家攀登计划

传媒

  • 19个微细加工技术
  • 17个光电工程
  • 17个微纳电子技术
  • 15个光学学报
  • 13个电子工业专用...
  • 10个半导体技术
  • 9个Journa...
  • 9个物理学报
  • 9个光子学报
  • 9个第十二届全国...
  • 9个2010(第...
  • 8个四川大学学报...
  • 8个第十一届全国...
  • 7个光学精密工程
  • 7个中国激光
  • 7个电子器件
  • 6个电子技术应用
  • 6个物理
  • 6个微电子学
  • 6个压电与声光

地区

  • 8个四川省
  • 7个北京市
  • 2个河南省
  • 2个广东省
  • 1个安徽省
共 21 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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蒋文波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像系统 位相型 光刻 纳米光刻 无掩模光刻
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朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李亚文
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：超分辨 波带片 衍射光学 旁瓣抑制 X射线光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
佟军民
供职机构：许昌职业技术学院
研究主题：工件台 绩效评价 专业群 光刻 高职院校
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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