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国家科技重大专项(2009ZX02037)
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李超波
夏洋
李勇滔
赵章琰
杨威风
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中国科学院微电子研究所
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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汪明刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
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杨威风
供职机构:中国电子科技集团公司第十六研究所
研究主题:超浅结 发光二极管 感应耦合等离子体 GAN外延生长 内量子效率
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刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
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赵章琰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
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张阳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 氧化锌 锌源 受主
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
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秦威
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
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