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国家科技重大专项(2009ZX02008)

作品数：1 被引量：4H指数：1
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领域

  • 1个电子电信
  • 1个文化科学

主题

  • 1个单片
  • 1个单片机
  • 1个旋转盘
  • 1个旋转轴
  • 1个圆片
  • 1个设计方法
  • 1个湿法
  • 1个湿法刻蚀
  • 1个酸雾
  • 1个体动力学
  • 1个铜污染
  • 1个凸点
  • 1个喷嘴
  • 1个转轴
  • 1个微电子
  • 1个污染
  • 1个流体动力学
  • 1个刻蚀
  • 1个刻蚀机
  • 1个刻蚀速率

机构

  • 1个沈阳芯源微电...

资助

  • 1个国家科技重大...
  • 1个国际科技合作...

传媒

  • 1个机械工程师
  • 1个半导体技术
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 1个辽宁省
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陈波
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：硅片 保护装置 薄片状 旋转轴 旋转盘
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