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国家自然科学基金(50325518)
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郭东明
康仁科
金洙吉
郭晓光
柳敏静
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郭东明
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 天线罩 抛光 硅片 抛光液
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康仁科
供职机构:大连理工大学
研究主题:超声 砂轮 蜂窝芯 化学机械抛光 刀具
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金洙吉
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光 超精密加工 抛光液 金刚石
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郭晓光
供职机构:大连理工大学
研究主题:单晶硅 分子动力学 超精密加工 纳米级 金刚石
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柳敏静
供职机构:大连理工大学
研究主题:天线罩 高温材料 复合材料 仿真 环氧树脂
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孙玉文
供职机构:大连理工大学
研究主题:复杂曲面 刀具 刀位 进给率 反求工程
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盛贤君
供职机构:大连理工大学
研究主题:天线罩 频率选择表面 数控机床 数控 修磨
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张春波
供职机构:航天特种材料及工艺技术研究所
研究主题:天线罩 频率选择表面 超材料 通带 电性能
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贾振元
供职机构:大连理工大学
研究主题:视觉测量 复杂曲面 碳纤维复合材料 激光 计算机视觉检测
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刘瑞鸿
供职机构:大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题:CMP 化学机械抛光 材料去除率 二氧化硅 介质层
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