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国家自然科学基金(61106060)

作品数：12 被引量：35H指数：3
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共 19 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇
供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题：原子层沉积 催化剂 ALD 分离膜 互连技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何静
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：液相沉积 二氧化硅薄膜 减反射膜 液相沉积法 反射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李惠琪
供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题：等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金 截齿 等离子炬
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐立丹
供职机构：辽宁工业大学
研究主题：脉冲电磁场 太阳能电池 钙钛矿 水热法 纳米棒阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘肃
供职机构：兰州大学
研究主题：静电感应器件 SITH 静电感应晶闸管 单晶 静电感应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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