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北京工业大学电子工程系北京市光电子技术实验室
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4
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张时明
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2005
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1996
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SiGe/SiHBT发射结的寄生势垒及其对器件室温和低温特性的影响
被引量:2
2000年
研究了 Si Ge/Si HBT基区 B杂质的偏析和外扩散对器件的影响 .发现用 MBE生长的Si Ge基区中 ,在材料生长时 B杂质的上述行为会严重破坏器件的室温电流增益并改变器件的低温性能 .采用数值计算分析了 B杂质的上述行为与在发射结产生的寄生势垒的关系 ,解释了器件温度特性的实验结果 .并根据计算模拟和实验 ,讨论了 Si
徐晨
沈光地
陈建新
邹德恕
李建军
罗辑
魏欢
周静
董欣
关键词:
SIGE
HBT
新型大功率双波长半导体激光器的研制
2005年
提出了一种新结构半导体双波长激光器 ,即用隧道结把两个发射不同波长的激光器结构通过外延生长的方法连接起来。通过计算和设计 ,制备了性能良好的大功率激射的双波长半导体激光器。双波长器件的实际激射波长分别为 95 1 nm和 987nm,为基模激射。器件在 5 3 0 m A直流工作时输出功率达到 5 0 0 m W,斜率效率为1 .3 3 W/A。在 2 A电流时功率达 2 .4W,斜率效率为 1 .3 8W/A;3 A电流时功率达 3 .1 W,斜率效率为 1 .2 1 W/A。
郭伟玲
田咏桃
李建军
马丽娜
鲁鹏程
王婷
邹德恕
沈光地
关键词:
大功率
半导体激光器
双波长
隧道结
Si/SiGe腐蚀停止技术的研究及其在SiGe/SiHBT工艺中的应用
1996年
对SiGe/Si腐蚀停止技术进行了大量的实验研究,分析了腐蚀的化学机理,并在一定的腐蚀液浓度和温度下,获得了Si和SiGe的腐蚀速率比大于30的结果。该技术极宜在SiGe/SiHBT制作中应用。
陈建新
袁颖
杜春霞
张时明
赵玉琴
沈光地
关键词:
硅
硅锗
半导体工艺
LPE法在Si衬底上生长SiGe层的方法及电子特性的研究
1996年
本文介绍了在电阻率为(77~300)kΩ·cm的n型(111)Si衬底上用LPE法生长高质量Si1-XGex单晶薄层(其厚度一般为1~3μm)的生长条件,并对引入的缺陷进行了TEM研究,结果表明其缺陷密度和用MBE及超高真空CVD法生长的同样厚度和组分的Si1-xGex薄层的缺陷密度相等甚至更低.霍尔迁移率μH与温度有μH∝Tm的关系,(在T=80~300K时,m=-0.95).当x>0.85时,μH的测量值和由Krishnamurthy计算的理论值相符,x<0.85,测量值仅为理论值的70%.由Bi杂质引入能级的电子激活能En与Ge的组分x有关.但在x=0.83时有最大值.其值分别为Bi在St,Ge体材料中的1/4.这表明用LPE生长的SiGe层的电子特性不但与Bi而且还与SiGe的结构特性有关.
陈建新
邹德恕
张时明
韩军
沈光地
关键词:
SIGE
电子特性
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