您的位置： 专家智库 > >

沈阳芯源微电子设备有限公司

作品数：466 被引量：27H指数：3
相关作者：谷德君卢继奎王绍勇王阳王冲更多>>
相关机构：中国有色（沈阳）冶金机械有限公司沈阳工业大学中国科学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项教育部人文社会科学研究基金黑龙江省高等教育教学改革工程项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学电气工程更多>>

合作机构

领域

  • 28个电子电信
  • 15个自动化与计算...
  • 9个文化科学
  • 6个机械工程
  • 5个金属学及工艺
  • 4个经济管理
  • 2个化学工程
  • 2个医药卫生
  • 1个动力工程及工...
  • 1个电气工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个社会学

主题

  • 34个半导体
  • 33个光刻
  • 31个晶圆
  • 28个晶片
  • 27个光刻胶
  • 22个涂胶
  • 21个显影
  • 20个电路
  • 20个集成电路
  • 18个电路制造
  • 18个集成电路制造
  • 17个片盒
  • 16个喷嘴
  • 14个半导体行业
  • 13个电机
  • 13个制程
  • 13个废液
  • 13个半导体晶片
  • 11个全自动
  • 10个清洗液

机构

  • 61个沈阳芯源微电...
  • 1个大连理工大学
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个沈阳理工大学

资助

  • 6个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个黑龙江省高等...
  • 1个教育部人文社...

传媒

  • 7个电子工业专用...
  • 6个中国高新科技
  • 4个机械工程师
  • 4个中国高新技术...
  • 3个半导体技术
  • 3个装备制造技术
  • 2个电子与封装
  • 1个电子世界
  • 1个中国机械工程
  • 1个军民两用技术...
  • 1个控制与决策
  • 1个黑龙江高教研...
  • 1个自动化技术与...
  • 1个探测与控制学...
  • 1个科技风
  • 1个科技资讯
  • 1个赤子
  • 1个科技创新导报
  • 1个商情
  • 1个科技经济导刊

地区

  • 61个辽宁省
共 61 条 记 录，以下是 1-10
谷德君
作品数：52被引量：12H指数：2
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢继奎
作品数：32被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 半导体行业 湿法处理 承片台 供液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王绍勇
作品数：25被引量：2H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王阳
作品数：25被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：涂胶 光刻胶 半导体生产 晶圆 喷嘴
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冲
作品数：24被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：光刻胶 晶片 半导体行业 光刻工艺 工艺过程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏猛
作品数：23被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体晶片 涂胶 显影 晶片 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张怀东
作品数：22被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 芯片制造 喷嘴 均匀性 显影
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程虎
作品数：18被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：基板 处理系统 半导体 大尺寸 流体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽鹤
作品数：18被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶圆 密封 顶针 废液 均布
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑春海
作品数：18被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共7页<1234567>
聚类工具0