2025年1月29日
星期三
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孙少东
作品数:
124
被引量:18
H指数:2
供职机构:
淮安信息职业技术学院
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发文基金:
淮安市科技支撑计划基金
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相关领域:
金属学及工艺
一般工业技术
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
赵燕平
北京七星华创电子股份有限公司
周厉颖
北京七星华创电子股份有限公司
赵星梅
北京七星华创电子股份有限公司
钟华
北京七星华创电子股份有限公司
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立式炉体装配设备多点固定装置
本发明公开了一种立式炉体装配设备多点固定装置,所述装配设备包括内载圈以及位于所述内载圈顶部的上载圈,所述固定装置包括:第一连接部,位于所述内载圈径向的内侧,与所述内载圈通过螺钉固定;第二连接部,由所述第一连接部的上端沿所...
孙少东
赵燕平
董金卫
钟华
赵星梅
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热处理装置
本发明涉及半导体处理装置,公开了一热处理装置,包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳,其中:热处理加热结构包括第一保温部及加热部,第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔,加热部部分嵌入所述第一保温部内,加热部朝向...
孙少东
周厉颖
王艾
文献传递
一种烤炉体装置
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,提供了一种烤炉体装置,箱体的一侧连接主路,其另一侧设有至少两个支路,各所述支路并联于主路上,主路上设有供电连接端子,支路的端部分别设有一个输出接线端子,输出接线端子用于连接炉体的接入接线...
孙少东
张乾
周厉颖
文献传递
热处理装置
本实用新型涉及半导体处理装置,公开了一热处理装置,包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳,其中:热处理加热结构包括第一保温部及加热部,第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔,加热部部分嵌入所述第一保温部内,加热部...
孙少东
周厉颖
王艾
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一种热处理反应管构件
本发明涉及一种热处理反应管构件,所述热处理反应管构件包括热处理反应管和进排气装置,所述热处理反应管内具有反应管腔室,所述进排气装置包括进气装置和排气装置,所述进气装置与反应管腔室连通,所述进气装置包括一支以上进气扩散管、...
孙少东
文献传递
一种晶圆承载装置和晶圆承载系统
本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种晶圆承载装置和晶圆承载系统。该晶圆承载装置包括:顶板、底板、支座和多根固定柱;所述固定柱穿过所述底板安装在所述顶板和所述支座之间,多根所述固定柱布置在所述底板的周向上,多根所述固定...
孙少东
周厉颖
王丽荣
文献传递
一种半导体热处理设备
本发明涉及一种半导体热处理设备,其包括炉体、保温层、加热元件以及绝缘固定组件,所述炉体包括内壁、外壁和顶盖,所述保温层设置在加热元件和内壁之间;所述加热元件由若干段纵向分布的加热丝构成,且所述若干段纵向分布的加热丝紧贴着...
孙少东
王艾
周厉颖
文献传递
镁在球铁液冷却过程中的运动分析
2010年
通过对球墨铸铁件表皮及横截面上含镁量的测定,发现球铁铸件不同方向的表面上镁的含量相同,且明显地高于平均成分;从铸件表面到心部的横截面上镁的含量不相同,呈现梯度增加的分布状态。在依据气泡上浮理论或成分偏析理论都不能解释这一实验结果的情况下,提出了石墨化膨胀促进气泡迁移的观点,并且分析了整个冷却过程中气泡迁移的路径和速度。
孙少东
何时剑
张孟群
刘笛
关键词:
球墨铸铁
一种用于快速降温的炉体
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,尤其涉及一种用于快速降温的炉体,在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道,所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环,所述进风环上设有进风口,所述纵向风...
孙少东
周厉颖
用于热处理的快速升降温炉体
本发明公开了一种快速升降温炉体,其包括包围工艺管的筒状的保温层,配置于所述保温层内周面的加热元件,以及冷却单元。其中冷却单元包括:位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道;以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋...
孙少东
徐冬
周厉颖
董金卫
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