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周厉颖

作品数：31 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：经济管理动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇中文专利

领域

  • 1篇经济管理
  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 24篇半导体
  • 17篇炉体
  • 14篇保温
  • 11篇半导体工艺
  • 11篇半导体工艺设...
  • 9篇保温层
  • 7篇风道
  • 5篇排风
  • 5篇热元件
  • 5篇加热元件
  • 5篇阀门
  • 4篇晶圆
  • 4篇负压
  • 4篇成膜
  • 3篇排风系统
  • 3篇气体
  • 3篇热传递
  • 3篇炉膛
  • 3篇内层
  • 3篇接线

机构

  • 31篇北京七星华创...

作者

  • 31篇周厉颖
  • 29篇孙少东
  • 6篇董金卫
  • 6篇王丽荣
  • 6篇王艾
  • 4篇张乾
  • 3篇侯建明
  • 2篇徐冬
  • 2篇赵燕平
  • 1篇孙晋博

年份

  • 2篇2017
  • 5篇2016
  • 12篇2015
  • 12篇2014
共 31 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于快速降温的炉体
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于快速降温的炉体，在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道，所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环，所述进风环上设有进风口，所述纵向风...
孙少东周厉颖
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用于热处理的快速升降温炉体
本发明公开了一种快速升降温炉体，其包括包围工艺管的筒状的保温层，配置于所述保温层内周面的加热元件，以及冷却单元。其中冷却单元包括：位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道；以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋...
孙少东徐冬周厉颖董金卫
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一种烤炉体装置
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种烤炉体装置，箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于主路上，主路上设有供电连接端子，支路的端部分别设有一个输出接线端子，输出接线端子用于连接炉体的接入接线...
孙少东张乾周厉颖
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热处理装置
本实用新型涉及半导体处理装置，公开了一热处理装置，包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳，其中：热处理加热结构包括第一保温部及加热部，第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔，加热部部分嵌入所述第一保温部内，加热部...
孙少东周厉颖王艾
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用于快速降温的炉体
本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于快速降温的炉体，在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道，所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环，所述进风环上设有进风口，所述纵...
孙少东周厉颖
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一种半导体热处理设备的加热装置、维修件及维修方法
本发明涉及一种半导体热处理设备的加热装置、维修件及维修方法，该装置包括炉体保温层、加热丝以及将加热丝固定在保温层上的支撑绝缘件，还包括辅助维修绝缘件。辅助维修绝缘件架设在需特殊加固绝缘的两段相邻加热丝之间，其形状为小写的...
孙少东董金卫赵燕平周厉颖
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一种晶元加工装置
本实用新型公开了一种晶元加工装置，包括：微环境腔和排气装置，排气装置包括排气管路、气动阀、气动部件和负压管路，其中排气管路作为微环境腔排气的出口，与气动阀的第一端口连接，且气动阀的第二端口和第三端口分别与气动部件和负压管...
王丽荣周厉颖
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排风装置
本实用新型公开了一种排风装置，包括顶部转环和底部固定环；其中，所述顶部转环为环状体，所述顶部转环上侧设有向环壁内侧延伸的第一转动边，所述顶部转环外侧壁上设有至少一个供气流通过的排风口；所述底部固定环为环状体，且所述底部固...
孙少东董金卫周厉颖
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一种压紧装置及具有该压紧装置的热处理设备
本实用新型涉及压紧固定技术领域，提供了一种压紧装置及具有该压紧装置的热处理设备。所述压紧装置包括气缸和压紧部件；其中，所述气缸包括缸体和伸出缸体外的伸缩轴；所述压紧部件与所述伸缩轴固定连接；所述压紧部件在伸缩轴自转带动下...
周厉颖董金卫孙晋博
热处理装置
本实用新型涉及半导体处理装置，公开了一热处理装置，包括加热层及夹层，夹层环绕待加热样品以形成加热腔，加热层设置在加热腔内，用于加热待加热样品，夹层内部中空，以允许外界气体进入所述夹层。本实用新型通过在热处理装置中设置一内...
孙少东周厉颖王丽荣
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