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左正
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南京大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
濮林
南京大学
陈裕斌
南京大学
郑有炓
南京大学
闾锦
南京大学
施毅
南京大学
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基于锗硅异质纳米结构的非挥发浮栅存储器的制备方法
基于锗硅异质纳米结构的半导体非挥发性浮栅存储器,包括:半导体衬底;在半导体衬底中设有掺杂形成的源极和漏极,在源漏极间的沟道层正上方设有氧化形成隧穿氧化层;设有控制栅介电层和栅电极;在隧穿氧化层上是渐变锗硅异质纳米结构即晶...
施毅
闾锦
陈裕斌
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濮林
张荣
韩平
顾书林
郑有炓
文献传递
基于锗硅异质纳米晶粒的非易失性浮栅存储器
<正>目前所研究的纳米器件中,将纳米品粒作为浮栅的存储器件是一种引人注目的纳米结构器件。纳米晶粒浮栅非易失性存储器表现出低功耗、高密度和多阈值等许多优点。可是纳米结构存储器也有一些问题亟待解决,其中之一就是如何在器件低压...
闾锦
陈裕斌
左正
濮林
施毅
郑有炓
关键词:
锗硅合金
文献传递
基于锗硅异质纳米晶的非易失浮栅存储器的存储特性
2008年
利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这是由于渐变锗硅异质纳米晶中Ge的价带高于Si的价带形成了复合势垒,空穴有效地存储在复合势垒的Ge的一侧.
闾锦
陈裕斌
左正
施毅
濮林
郑有炓
关键词:
电容-电压特性
自组织生长
基于锗硅异质纳米结构的非挥发浮栅存储器及制备方法
基于锗硅异质纳米结构的半导体非挥发性浮栅存储器,包括:半导体衬底;在半导体衬底中设有掺杂形成的源极和漏极,在源漏极间的沟道层正上方设有氧化形成隧穿氧化层;设有控制栅介电层和栅电极;在隧穿氧化层上是渐变锗硅异质纳米结构即晶...
施毅
闾锦
陈裕斌
左正
濮林
张荣
韩平
顾书林
郑有炓
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