于茂华
- 作品数：11 被引量：8H指数：2
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目上海市青年科技启明星计划上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 刮板式微致动器的理论与实验研究
- 微致动器技术作为微机电系统技术的一个核心技术，越来越受到了国内外微机械专业领域内专家的关注。静电刮板式微致动器(Scratch Drive Actuator，简称SDA)是微机电系统(Micro-electro-mech...
- 于茂华
- 关键词：微机电系统微致动器力学模型
- 文献传递
- 计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究被引量：6
- 2006年
- 针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解。经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果。为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据。
- 高嵘王小静张效翔王敏于茂华谢明春
- 关键词：非线性动力学微谐振器MEMS
- 静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器
- 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外...
- 于茂华王小静刘永武高嵘谢明春张敏亮王国亮
- 文献传递
- 静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器
- 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外...
- 于茂华王小静刘永武高嵘谢明春张敏亮王国亮
- 文献传递
- 静电致动串联式射频微滤波器
- 本发明涉及一种静电致动串联式射频微滤波器。它由一块硅片基底上沉积多晶硅结构层构成；多晶硅结构层包括由两个分别相互插配的固定梳齿和移动梳齿、两个分别连接两个移动梳齿的支撑梁、和与支撑梁连接的弹性支撑架构成的两个微谐振器，以...
- 高嵘王小静谢明春于茂华王国亮张敏亮
- 文献传递
- 推力轴承试验台数据采集系统的研究
- 为推力轴承试验台搭建了轴承性能参数数据采集系统,可测量推力轴承的动态油膜压力、温度和轴承载荷数据。通过实验研究了巴氏合金瓦推力轴承启动运行过程,得到了油膜温度和压力的变化规律,探讨了不同载荷和不同转速下对推力轴承油膜温度...
- 谢明春王小静高嵘于茂华
- 关键词：数据采集系统试验台推力轴承
- 文献传递
- 径向滑动轴承试验台
- 本实用新型涉及一种径向滑动轴承实验台。它包括由电机驱动的主轴上套装轴套后再套装实验的上、下轴瓦，下轴瓦置于静压油槽内，该静压油槽内腔接通高压油源构成加载系统；在下轴瓦内安装压力传感器和温度传感器，上轴瓦上面和侧面安装位移...
- 谢明春于茂华王国亮张敏亮王小静张雯刘红军
- 文献传递
- 刮板式微致动器性能研究
- 2008年
- 刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。
- 于茂华王小静谢明春王国亮张敏亮
- 计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究
- 本文针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动...
- 高嵘王小静张效翔王敏于茂华谢明春
- 关键词：非线性动力学微谐振器MEMS
- 文献传递
- 静电致动串联式射频微滤波器
- 本发明涉及一种静电致动串联式射频微滤波器。它由一块硅片基底上沉积多晶硅结构层构成；多晶硅结构层包括由两个分别相互插配的固定梳齿和移动梳齿、两个分别连接两个移动梳齿的支撑梁、和与支撑梁连接的弹性支撑架构成的两个微谐振器，以...
- 高嵘王小静谢明春于茂华王国亮张敏亮
- 文献传递
