孙秀明
- 作品数:10 被引量:8H指数:2
- 供职机构:深圳大学光电子学研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金广东省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域:理学电子电信冶金工程更多>>
- 坩埚形状对氮化铝晶体生长的影响
- 武红磊郑瑞生孙秀明
- 文献传递
- 粉料预处理方法对氮化铝晶体形态的影响
- 2007年
- 以氮化铝粉料为原料,在高纯氮气条件下用物理气相法制备氮化铝晶体。采用不同方法对氮化铝粉料进行预处理,研究它对氮化铝晶体形态的影响。实验结果表明,通过对氮化铝粉料的预烧结,可以有效地减少粉料中杂质的含量,实现合适的气体输运速率,从而得到了尺寸较大、质量较高的六棱柱形的氮化铝单晶体。
- 孙秀明郑瑞生武红磊杨帆刘文敬守勇
- 关键词:氮化铝晶体晶体形态
- 氮化铝晶须的形态与生长条件的关系
- 2006年
- 实验以氮化铝粉料为原料,在高纯氮气气氛下用物理气相法在密闭式和半开式钨坩锅内高温生长出氮化铝晶须;并对氮化铝晶须的结晶形态与生长条件的关系进行了分析和探讨。
- 鲁枫郑瑞生刘文敬守勇武红磊孙秀明
- 关键词:氮化铝晶须
- 气相生长氮化铝单晶的新方法被引量:8
- 2007年
- 通过在钨坩埚盖开小孔的方法改变氮化铝结晶衬底上的温度场分布,在开孔处形成局部低温区;由于孔的几何尺寸的限制和氮化铝晶体生长的各向异性,开孔处的氮化铝晶体单晶化;随后,开孔处的单晶起籽晶的作用,逐渐长成较大尺寸、较高质量的氮化铝单晶。目前用该方法已经制备出直径大于2mm的氮化铝单晶体。
- 武红磊郑瑞生孙秀明罗飞杨帆刘文敬守勇
- 关键词:氮化铝单晶
- 物理气相法制备AlN晶体
- 2007年
- 研究了物理气相法制备AlN晶体的过程中生长条件的改变对晶体生长的影响.实验中,采用带石墨环的坩埚组件可以避免高温下钨坩埚体和盖的粘结问题.随着生长温度的升高,AlN晶体的形态从晶须过渡到棱形晶粒.温度高于1950℃时,才能制备出颗粒状.AlN晶体.同时,研究了过饱和压对晶体生长的影响.目前,已经制备出直径为1mm的高质量的六棱柱形的.AlN单晶,最大的单晶体的直径达2mm.
- 武红磊郑瑞生孙秀明
- 关键词:生长温度
- 氮化铝材料的制备及其生长特性的研究
- 本研究采用物理气相法,在高纯氮气气氛下制备氮化铝(AlN)晶体,得到了最大尺寸为1.8mm×Φ1mm的氮化铝单晶体和5×Φ36mm的氮化铝多晶片以及厘米级的氮化铝多晶体。实验发现在不同的生长环境和生长条件下,AlN晶体的...
- 孙秀明
- 关键词:晶体形态氮化铝薄膜
- 文献传递
- 坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用被引量:3
- 2006年
- 在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一。实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命。使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和36mm×5mm氮化铝多晶片。
- 武红磊郑瑞生孙秀明罗飞杨帆刘文敬守勇
- 关键词:坩埚
- 一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件
- 本实用新型涉及一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件。为了解决用高温气相法制备金属氮化物晶体材料时钨坩埚体和盖的粘结问题,本实用新型通过在钨坩埚体和盖之间放置合适大小的石墨环,在高温条件下石墨环将和其相接触的钨坩埚体和盖...
- 武红磊郑瑞生鲁枫孙秀明
- 文献传递
- 改进的升华法制备氮化铝单晶体(英文)
- 2007年
- 采用改进的升华法在氮气环境下制备氮化铝单晶体。通过优化实验条件制备出了六角形的高质量的氮化铝单晶体。实验发现,在坩埚的不同区域得到的氮化铝晶体的大小和形态有所不同。讨论了温度梯度对氮化铝晶体尺寸大小和形态的影响。
- 孙秀明郑瑞生鲁枫武红磊刘文敬守勇
- 关键词:晶体形态
- 物理气相法制备氮化铝晶体的研究
- 研究了物理气相法制备氮化铝晶体的过程中生长条件的改变对晶体生长的影响.实验中,采用带石墨环的坩埚组件可以避免高温下钨坩埚体和盖的粘结问题.随着生长温度的升高,氮化铝晶体的形态从晶须过渡到棱形晶位.温度高于1950℃时,才...
- 武红磊郑瑞生孙秀明
- 文献传递