张昱
- 作品数：6 被引量：29H指数：3
- 供职机构：重庆邮电学院光电工程学院微光机电系统研究所更多>>
- 发文基金：重庆市教育委员会科学技术研究项目博士科研启动基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 平行微带谐振结构器件微尺度效应研究
- 2004年
- 研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度效应进行了分析,得出该结构相关微尺度条件下相关物理量的微尺度规律.在微尺度表面粗糙度条件下,对平行微机械微带结构谐振/滤波器的性能做出了分析,得出该器件在电磁、机械、几何等微尺度量影响下的一些性能指标,为射频微机电系统相关微尺度效应研究提供了理论参考.
- 潘武李应良赵伟张昱陈艳
- 关键词：MEMS微细加工工艺
- MEMS封装技术被引量：17
- 2005年
- MEMS封装是在微电子封装技术基础上发展起来的一项关键的MEMS技术.首先提出了MEMS封装设计的一些基本要求,包括封装等级、封装成本、环境影响、接口问题、外壳设计以及热设计等方面.在此基础上,介绍了键合技术、倒装芯片技术、多芯片封装以及3D封装等几种重要的MEMS封装技术,并给出了一个封装实例,最后进一步探讨了MEMS封装的发展趋势及研究动向。
- 张昱潘武
- 关键词：微机电系统封装倒装芯片封装多芯片封装
- 折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析被引量：7
- 2005年
- 设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压。微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略。利用MATLAB 7.0进行仿真分析,获得微镜驱动电压与扭梁长度的关系曲线。利用ANSYS 8.0获得了折叠弹簧式微镜结构的模态分析和谐响应分析结果,其工作模态频率约为1.77 kHz,远低于其他非工作模态频率。微镜结构的谐振频率约为1.8 kHz,能满足MEMS光开关对开关响应时间的要求。
- 张昱潘武
- 关键词：光开关驱动电压有限元分析
- 平行微带谐振结构器件微尺度效应研究
- 本文研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度效应进行了分析,得出该结构相关微尺度条件下相关物理量的微尺度规律.在微尺度表面粗糙度条件下,对平...
- 潘武李应良赵伟张昱陈艳
- 关键词：微细加工谐振滤波器件微机电系统
- 文献传递
- 力平衡式三轴微加速度计的设计与分析被引量：5
- 2006年
- 设计了一种具有单一检测质量的力平衡式三轴微加速度计．采用硅-硅键合工艺形成作为单一检测质量块的硅片组合,利用全差分电容检测法实现对加速度三轴分量的检测．通过提高检测质量的重心,有效增加了X、Y 轴的灵敏度．利用ANSYS仿真软件对该微加速度计进行了模态及静力学分析,提出了优化设计参数．3个检测模态 (1阶、2阶和3阶模态)的频率分别为1．329 kHz、1．345 kHz 和2．174 kHz．通过优化设计,提高了3阶模态和4阶模态的频率差距,降低了其他高阶模态的干扰．在100g(g为重力加速度)的Z向加速度作用下,悬臂梁所受的最大应力为46 MPa,小于单晶硅的弯曲极限值70-200 MPa．静力学分析表明,加速度计的悬臂梁结构参数能够满足加速度计的力学性能要求．
- 潘武张昱
- 关键词：差分电容灵敏度阳极键合模态分析
- 折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析
- 设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压.微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略.利用MATLAB7.0进行仿真分析,获得...
- 张昱潘武
- 关键词：光开关有限元分析
- 文献传递
