罗维根
- 作品数:51 被引量:112H指数:7
- 供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家攀登计划更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 一次性热处理成膜制备锆钛酸铅厚膜的方法
- 本发明涉及一次性热处理成膜制备锆钛酸铅(PZT)厚膜的方法,属于锆钛酸铅系陶瓷领域。前驱液以醋酸铅、锆和钛的醇盐为原料,以醋酸和水或乙二醇甲醚、甲醇为溶剂,按Pb∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X,0.1≤X≤0.9配比,采用...
- 蒲兴华罗维根丁爱丽仇萍荪何夕云
- 文献传递
- 纳米晶粒PLT(28)薄膜的制备和性能研究被引量:1
- 1995年
- 本文首先报道了纳米晶粒PLT(28)薄膜的制备,并研究其微结构、铁电、电光性能,讨论不同热处理条件对薄膜微结构的影响,以及晶粒尺寸与电光性能的关系.
- 丁爱丽罗维根陈先同仇萍荪李晖
- 关键词:纳米晶粒铁电性能铁电薄膜PLT光电性能
- 一种制备锆钛酸铅厚膜的方法(中科院)
- 丁爱丽何夕云仇萍荪罗维根
- PZT(锆钛酸铅)材料具有十分优异的功能效应。近年来随着MEMS技术的迅速发展,急需研制厚度为1~10mm之间厚度的PZT厚膜,以产生足够大的位移量和电荷量。所以建立能制备性能优异、结构均匀、致密的PZT厚膜是当今材料研...
- 关键词:
- 关键词:厚膜锆钛酸铅
- 不挥发铁电存储器的最新发展被引量:14
- 1996年
- 铁电材料具有自发极化并可由外电场反转,因此可以构成一种不挥发存储器.铁电薄膜与半导体集成,产生铁电随机存储器,并将成为存储器技术的主体.
- 罗维根丁爱丽
- 关键词:铁电薄膜铁电随机存储器存储器
- 溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响被引量:2
- 2002年
- 研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向 PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SIO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.
- 邸利锋丁爱丽何夕云罗维根
- 关键词:弛豫铁电体溶胶-凝胶法热解退火
- 一种电极制作方法
- 一种简单而实用的电极制作方法,尤其是涉及在透明铁电陶瓷上制作电极方法,属于电极制作领域。本发明特征在于用磁铁使机械掩膜与铁电陶瓷片紧密相贴。本发明所提供的方法可扩展到所有特制作电极的材料上。具有实用性强而又简单可行的特点...
- 丁爱丽罗维根
- 文献传递
- 射频磁控溅射原位制备高Tc钇钡铜氧超导薄膜
- 1991年
- 用粉末靶射频磁控溅射的方法在650℃的(110)SrTiO_3衬底上成功地原位制备出起始转变温度96K,零电阻温度88.2K,用约0.4mm宽的桥在77K零磁场下临界电流密度达6×10~5A/cm^2,高度定向的钇钡铜氧超导薄膜,膜的厚度为0.22μm。发现控制溅射工艺参数并在溅射后进行原位热处理是获得高T_c超导薄膜的关键。
- 顾爱国罗维根
- 关键词:超导薄膜射频磁控溅射钇钡铜氧
- 新一代不挥发铁电存储器与IC卡(上)
- 1998年
- 铁电薄膜与半导体集成产生了新一代不挥发存储器,与传统的半导体不挥发存储器比较,具有突出的优点,是新一代IC卡的理想存储芯片。
- 罗维根丁爱丽
- 关键词:铁电存储器存储器IC卡
- 全文增补中
- PLT薄膜的磁控溅射淀积及其性能被引量:1
- 1992年
- 以(Pb_(1-z/100)La_(x/100))Ti_(1-x/400)O_3(简称 PLT)烧结粉末为溅射靶材,用射频磁控溅射技术,研究了PLT 薄膜的淀积工艺及其结构和电光性能。在玻璃和(0001)Al_2O_3衬底上制备出了高度定向的 PLT 薄膜,而在(100)SrTiO_3衬底上外延生长出 PLT 薄膜。研究了玻璃衬底上生长高度定向 PLT 薄膜的机制。用新颖的法拉第磁光调制技术测量了 PLT 薄膜的电光系数,得到薄膜的二次方电光系数 R>0.6×10^(-15)(m/v)~2。
- 罗维根丁爱丽张瑞涛黄敏虹葛敏
- 关键词:半导体铁电薄膜磁控溅射
- 溅射ZnO薄膜的显微结构
- 1990年
- 本文用X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、反射高能电子衍射等方法,测定了平面直流磁控反应高速率溅射 ZnO 薄膜的显微结构。实验观察到三种不同的表面结构:6mm 对称结构、非晶态以及非6mm 对称结构。衬底材料对 ZnO 薄膜 c 轴取向具有很大影响。ZnO 在玻璃衬底上为[0001]取向,在金膜上为[0001]取向。薄膜柱状结构横向为单一晶粒。纵向由于应力的存在为多晶结构。晶粒之间晶界层不到1nm 量级。相交晶粒 c 轴取向基本一致,a、b 轴取向不同。
- 黄毓虹罗维根
- 关键词:氧化锌溅射沉积显微结构