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刘巍

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇照明
  • 1篇照明光源
  • 1篇离轴
  • 1篇离轴照明
  • 1篇解析模型
  • 1篇光刻
  • 1篇光学光刻
  • 1篇SIGMOI...

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇刘巍
  • 1篇刘世元
  • 1篇张传维
  • 1篇吴小飞

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于Sigmoid函数的离轴照明光源全参数解析模型被引量：3
2011年
本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型,该模型采用Sigmoid函数作为构造各种主流离轴光源解析模型的核函数.提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏差,全参数修正项可展开为傅里叶级数形式,相应级次的傅里叶系数具有特殊的物理意义,可分别代表偏心、倾斜、椭偏等形式的光源畸变,为光刻分辨率增强技术及其相关领域提供了仿真条件与理论依据,具有重要的应用价值.
刘巍刘世元吴小飞张传维
关键词：光学光刻SIGMOID函数离轴照明
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