张柏顺
- 作品数：29 被引量：86H指数：5
- 供职机构：湖北大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省自然科学基金武汉市青年科技晨光计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学化学工程一般工业技术更多>>
- 溶胶-凝胶法制备Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的微结构及介电性能研究被引量：1
- 2006年
- 使用部分醋酸盐为原料,用改进的溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜.场发射扫描电镜(FESEM)分析发现,薄膜均匀致密,表面无空洞、无开裂,晶粒尺寸约为50 nm.用原子力显微镜(AFM)测量薄膜表面的方均根粗糙度为7.8 nm.用透射电镜(TEM)观察薄膜的断面结构,用阻抗分析仪测试了薄膜的介电性能,其介电常数和介电损耗分别为460和4%(1 kHz).
- 张柏顺万能章天金
- 关键词：钛酸锶钡薄膜溶胶-凝胶法微结构介电性能
- 电极材料对BST薄膜介电性能的影响被引量：4
- 2003年
- BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简要的描述.
- 张柏顺章天金江娟刘江华
- 关键词：BST薄膜介电性能电极材料介电参数氧空位
- R.F溅射Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>/RuO<,2>薄膜及其介电特性研究
- .F.磁控溅射法在p-Si(100)衬底上沉积Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>/RuO<,2>异质结,BST薄膜的晶相和表面形貌XRD和SEM分析,表明在衬底...
- 张柏顺章天金江娟刘江华
- 关键词：BST薄膜射频溅射底电极结晶度介电特性
- CF4/Ar/O2等离子体刻蚀Ba0．65Sr0．35TiO3薄膜
- 以气体流量速率比率为9/36/5的 CF/Ar/O作为刻蚀气体,采用磁增强反应离子刻蚀技术,对溶胶-凝胶法制备的 BaSrTiO(BST)薄膜进行刻蚀。掠角 X 射线衍射的分析表明,刻蚀后的 BST 表面上附着有一无定形...
- 张柏顺全祖赐章天金赵兴中郭涛潘瑞琨马志军江娟
- 文献传递
- TiO_x层在Pt/Ti电极中对Ti扩散的抑制作用被引量：2
- 2006年
- 采用直流磁控溅射方法在SiO2/Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt/TiOx底电极。用XRD分析其晶相结构,用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度。结果表明,用TiOx层代替金属Ti后,能有效地抑制在高温环境下Ti原子向Pt层扩散,使电极表面粗糙度减小(粗糙度为2.99 nm)。
- 张柏顺何军章天金
- 关键词：电子技术铁电薄膜PT/TI电极粗糙度
- 钛酸锶钡薄膜的制备及其光学特性研究被引量：15
- 2004年
- 用溶胶–凝胶法在石英和Al2O3单晶衬底上沉积Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜,应用XRD与SEM表征了BST薄膜的晶化行为和表面形貌.在700℃退火1 h的薄膜,其表面光滑、晶粒大小分布均匀、无裂缝、无针孔.应用双光束光度计,在200~1000 nm的波长范围测量了薄膜的透射光谱,并根据'包络法'理论计算薄膜的折射指数.结果表明,当波长从近红外范围(1 000 nm)降低到可见光范围(430 nm)时,薄膜的折射率从2.16增加至2.35,当波长降低到紫外范围时,薄膜的折射率迅速增加,在365 nm处n =2.67.实验还发现沉积在Al2O3衬底上的BST的能隙约为3.48 eV.
- 张柏顺章天金江娟刘江华
- 关键词：无机非金属材料BST薄膜溶胶-凝胶法微观结构光学特性
- 最小二乘法在热电偶电势非线性软件补偿中的应用被引量：11
- 2004年
- 详细讨论最小二乘法拟合热电偶E-T曲线软件补偿的计算方法,并自行设计计算机程序.与硬件方法相比具有成本低、易调试、精度高等优点.实践证明,这种软件补偿法误差在0.5℃以下,是一种应用广泛的计算方法.
- 梁坤章天金张柏顺马志军江娟刘江华
- 关键词：最小二乘法热电偶电势非线性补偿
- Sol-Gel方法制备BST粉体的化学机理和晶化过程研究被引量：13
- 2004年
- 以钛酸丁酯、醋酸钡、醋酸锶为原料,乙二醇甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法按Ba∶Sr=0.65∶0.35的组分要求制备了(BaxSr1-x)TiO3粉体.应用FT—IR、X射线、DTA/TGA等分析手段,研究了Sol-Gel方法制备BST粉体过程中的物理化学过程及其晶化行为.实验结果表明:在BST凝胶中,COO—部分进入了凝胶的空间网络结构,起到一种中间连接体的作用;粉体在750℃时,完全晶化.
- 刘江华章天金张柏顺江娟马志军梁坤
- 关键词：晶化溶胶-凝胶法钛酸锶钡薄膜铁电材料
- R.F.溅射Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/RuO_2薄膜及其介电特性研究被引量：2
- 2004年
- 用R.F.磁控溅射法在p—Si(100)衬底上沉积Ba0.5Sr0.5TiO3/RuO2异质结,BST薄膜的晶相和表面形貌用XRD和SEM分析,表明在衬底温度为550℃时,薄膜的结晶度高、表面粗糙、晶粒较大.电容器InGa/BST/RuO2的介电特性由ε-V特性和I—V特性描述.薄膜在零偏压下ε=230、tgδ≈0.03.低电场条件下,薄膜的漏电流随电压呈饱和特性,属电子跳跃传导,且通过改善薄膜的结晶度可减小该漏电流.高电场条件下,漏电流符合肖特基发射规律.
- 张柏顺章天金江娟刘江华
- 关键词：BST薄膜射频溅射底电极结晶度介电特性
- 统计物理学中的非简并性条件和经典极限条件
- 2015年
- 本文从教学的角度,对不同统计物理学的教材中,非简并性条件和经典极限条件的概念和物理意义作了比较分析。许多教材把经典极限条件等同于非简并性条件。实际上经典极限条件包含非简并性条件。对定域系统,经典极限条件退化为非简并性条件。在教学中,有必要强调非简并性条件的重要性,以帮助学生理解三种分布的适用对象。
- 潘瑞琨曹万强张柏顺郑克玉
- 关键词：统计物理学教学
