穆参军
- 作品数：8 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>
- 一种双通结构的衍射光栅光信号监测仪
- 本发明涉及一种双通结构衍射光栅光信号监测仪，提供的监测仪能快速、实时、在线实现光网络通信信号与光纤传感信号性能的测量，监测与分析，并且实现了高性能光信号监测装置的小型化和智能化。其特征在于：1)在光信号第一次从衍射光栅输...
- 穆参军吴亚明张飞岭张宁
- 文献传递
- 新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制被引量：6
- 2008年
- 设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用.
- 穆参军张飞岭吴亚明
- 关键词：MEMS电磁驱动
- 高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究被引量：4
- 2008年
- 扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高。
- 穆参军赵本刚吴亚明
- 关键词：光学分辨率
- SOI基光学电流传感器的设计与仿真被引量：1
- 2006年
- 将光纤与微电了机械系统（MEMS）技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器（OCS）。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性，并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明：ANSYS与理论公式得到的结果基本一致；传感器的量程为100～3600A，对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB／A，温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0．2％。
- 赵本刚刘玉菲穆参军徐静吴亚明
- 关键词：温度补偿
- 端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究
- 2009年
- 结合微机电系统(micro-electronic-mechanical system,MEMS)扫描微镜结构以及单晶硅材料正交各向异性的特点,理论分析端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜的应力特性,得到器件工作时扭转梁上正确的应力分布及其特征,所得结论与有限元仿真结果进行比较。结果表明由于端部约束效应的影响,作用在MEMS扫描微镜上的驱动力矩分别通过纯扭转力矩和横向弯矩,在扭转梁上传递,导致在扭转梁产生正应力、附加剪切应力和扭转剪切应力,其中扭转剪切应力最大值位于扭转梁中部截面长边中点处,而正应力和附加剪切应力最大值分别位于约束端部截面四角处和截面短边中点处。随着扭转梁截面形状趋近于窄的矩形,端面约束效应会愈加明显,约束端部截面的正应力越大于其他两种应力,经过有限元分析获得与分析解较为一致的结果。
- 穆参军张飞岭张宁赵本刚吴亚明
- 关键词：微机电系统
- 新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器
- 高性能MEMS光学扫描执行器在图像显示、便携式投影仪等领域具有广泛的应用价值，并且在缩小器件结构尺寸、提高扫描速度、降低运行功耗以及保证光学性能等方面均具有无可比拟的优势，但是当MEMS光学扫描执行器扫描镜面尺寸达到毫米...
- 穆参军
- 新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析被引量：2
- 2009年
- 本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器。这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉。通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A^2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内。
- 鲁亮穆参军李四华吴亚明
- 关键词：光学电流传感器
- 一种双通结构的衍射光栅光信号监测仪
- 本发明涉及一种双通结构衍射光栅光信号监测仪，提供的监测仪能快速、实时、在线实现光网络通信信号与光纤传感信号性能的测量，监测与分析，并且实现了高性能光信号监测装置的小型化和智能化。其特征在于：1)在光信号第一次从衍射光栅输...
- 穆参军吴亚明张飞岭张宁
- 文献传递
