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吴晓波

作品数：3 被引量：7H指数：1
供职机构：河北省机电一体化中试基地更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇CVD
  • 1篇制冷
  • 1篇制冷机
  • 1篇气相沉积
  • 1篇热灯丝
  • 1篇膜设备
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇冷机
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积

机构

  • 3篇河北省机电一...
  • 1篇河北省科学院

作者

  • 3篇吴晓波
  • 2篇孙振路
  • 2篇王少岩
  • 2篇王志娜
  • 1篇臧建民
  • 1篇蔡云虹
  • 1篇李国华

传媒

  • 3篇河北省科学院...

年份

  • 1篇2000
  • 2篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统被引量：1
1999年
本文论述了用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统的特点和基本原理，给出了系统的有关参数和使用结果。
臧建民孙振路郭辉吴晓波
关键词：金刚石膜制冷机
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
2000年
在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上，初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金刚石膜的影响。总结出了制备各种级别金刚石膜的一般规律。并以11μm／h的沉积速率制备了直径60mm、厚度均匀的高质量自支撑金刚石膜，热导率可达18W／cm·K，厚度为0．7mm，其热导率已接近天然金刚石。
王少岩郭辉孙振路吴晓波王志娜刁习刚刘秀军蔡云虹胡红彦姜龙李国华
关键词：CVD
化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜的主要制备方法及应用被引量：6
1999年
介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法：热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。 Ｃ Ｖ Ｄ 金刚石膜的应用。
王少岩吴晓波王志娜刘秀军刁习刚姜龙
关键词：化学气相沉积金刚石薄膜CVD
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