孙振路
- 作品数：7 被引量：19H指数：3
- 供职机构：河北省科学院更多>>
- 发文基金：中国科学院“百人计划”河北省科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 磁控溅射铜膜与基底结合强度的分析研究被引量：3
- 2016年
- 根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主要原因,而空化作用是次要原因。通过建立的力学模型,计算了膜基结合强度。与划痕法等所测得的膜基结合强度值的比较,计算值与测量值在数量级和与溅射参数变化趋势上有很好的吻合。此评价方法可以应用于溅射铜膜/多晶金刚石的膜基体系上,并研究了超声参数、基底表面形貌、基底成份等因素对膜基结合强度的影响。
- 李佳君刘浩左永刚白旸袁禾蔚何其宇姜龙郭辉孙振路陈广超
- 关键词：材料检测与分析技术超声清洗受迫振动磁控溅射铜薄膜
- 基于CPLD的线阵CCD尺寸测量系统研究
- 2011年
- 利用CCD传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法,本文介绍了一种基于线阵CCD器件TCD1206的微器件尺寸测量系统的设计方法,对系统的组成原理和工作方式进行了论证,硬件部分使用了Altera公司的CPLD器件,实验表明系统设计方案可行,测量精度达到±0.01mm,符合设计要求。
- 秦旭磊孙振路陆学飞
- 关键词：线阵CCD非接触测量
- 廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制被引量：5
- 1997年
- 本文介绍了在８６３新材料领域资助下最新研制成功的１００ｋｗ级高功率直流等离子体喷射（ＤＣＰｌａｓｍａＪｅｔ）金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气—氢气—甲烷气体系中进行了初步的工艺试验，经过４０小时的连续运行，在Φ１１０ｍｍ的基片上沉积出中心厚１．９ｍｍ，边沿厚１．６ｍｍ的金刚石膜。平均生长速率达４４μｍ／ｈ。
- 臧建民潘存海唐才先杜素梅罗廷礼张永贵康增江石尔平王少岩孙振路郭辉崔文秀李国华王志娜吴晓波臧怀壮钟国仿王豪唐伟忠吕反修
- 关键词：金刚石
- 单晶CVD金刚石的制备方法及提高其生长速度的新思路被引量：2
- 2017年
- 化学气相沉积(CVD)金刚石是一种人造碳功能材料,不仅具有优异的综合性能,还可以被制作成二维或三维的形态,在电子/电力、量子信息等领域有着巨大的应用价值和广阔的应用前景,被认为是21世纪重要的材料之一。为促进CVD金刚石这种新型材料产业化制备大幅度发展,尽快满足新兴领域和社会生活进步的需求,本文围绕提高该类材料的生长速度这一工程核心问题,通过对CVD金刚石制备原理和现有技术特点的总结,分析出目前CVD金刚石制备效率低下的原因不仅在于现有技术制备工艺的低效,更为重要的是解决问题的研究思路存在着局限性。因此,提出了将研究思路从"探寻关键激元"转移到"遵从晶体生长控制规律"来提高金刚石生长速度的建议,并着重探讨了温度梯度对决定晶体生长速度起关键作用的传质效率的影响。
- 陈广超刘浩李佳君袁禾蔚李震睿徐锴郭辉孙振路孙雪孙占峰范斌
- 关键词：CVD金刚石晶体生长传质
- 用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统被引量：1
- 1999年
- 本文论述了用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统的特点和基本原理，给出了系统的有关参数和使用结果。
- 臧建民孙振路郭辉吴晓波
- 关键词：金刚石膜制冷机
- 直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
- 2000年
- 在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上，初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金刚石膜的影响。总结出了制备各种级别金刚石膜的一般规律。并以11μm／h的沉积速率制备了直径60mm、厚度均匀的高质量自支撑金刚石膜，热导率可达18W／cm·K，厚度为0．7mm，其热导率已接近天然金刚石。
- 王少岩郭辉孙振路吴晓波王志娜刁习刚刘秀军蔡云虹胡红彦姜龙李国华
- 关键词：CVD
- 大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备被引量：10
- 2001年
- 介绍了一种新型的磁控／流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬，并据此设计建 造了 １００千瓦级高功率 ＤＣ Ａｒｃ Ｐｌａｓｍａ Ｊｅｔ ＣＶＤ金刚石膜沉积系统 讨论了该系统采用的半封闭式 气体循环系统的工作原理。
- 吕反修唐伟忠刘敬明宋建华佟玉梅于文秀李国华罗廷礼张永贵郭辉孙振路何其玉
