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时方晓

作品数:4 被引量:2H指数:1
供职机构:清华大学理学院化学系更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇电迁移
  • 2篇AU-AG
  • 1篇电场
  • 1篇电子结构
  • 1篇真空技术
  • 1篇碳管
  • 1篇碳纳米管
  • 1篇子结构
  • 1篇氩离子
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米管
  • 1篇纳米碳
  • 1篇纳米碳管
  • 1篇俄歇分析
  • 1篇复层
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件
  • 1篇SAM
  • 1篇VA
  • 1篇XPS

机构

  • 4篇清华大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 4篇时方晓
  • 4篇曹立礼
  • 2篇姚文清
  • 1篇朱永法
  • 1篇叶小燕
  • 1篇董宇辉

传媒

  • 2篇Chines...
  • 2篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1998
  • 3篇1997
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
用扫描俄歇微探针研究Au-Ag/Si体系异质界面电迁移
1997年
应用自建的超高真空原位装置及扫描俄歇微探针(SAM)技术,研究了AU-Ag/Si体系的表面电迁移现象。观测到清洁St表面上的Au/Ag/Si和Ag/Au/Si复层薄膜在直流电场作用下呈现明显的两相分离,Au,Ag分别向着外加电场的正极和负极方向快速迁移扩展,总的迁移速率对Au/Ag/Si约为0.63μm/s而对Ag/An/Si为0.37μm/s。实验结果表明,复合膜的结构,即其形成次序虽不影响An,Ag各自原有的电迁移方向,但影响其迁移扩散机制。并对上述现象及其相应的微观机制进行了初步分析。
时方晓姚文清曹立礼
关键词:电迁移俄歇分析真空技术半导体器件
Ar^+离子辐照对碳纳米管电子结构的影响
1997年
应用XPS和AES研究了碳纳米管结构稳定性。结果表明:低能电子束辐照不会改变碳纳米管的电子结构;相反,低能Ar+离子束即使辐照强度低到0.2mA/cm2,也会引起碳纳米管电子结构的明显变化。
曹立礼时方晓朱永法
关键词:碳纳米管电子结构XPSAES氩离子纳米碳管
电场对Au/SiO_2及Au-Ag/SiO_2表面结构与原子迁移特性的影响
1997年
利用扫描俄歇微探针(SAM)和原子力显微镜(AFM)研究了SiO2衬底上在外加直流电场作用下沉积的Au薄膜及Au-Ag复层薄膜的表面形貌、结构变化及电迁移扩散行为。结果表明:①在衬底表面施加水平方向电场辅助沉积制备的Au薄膜其表面显示出平整的椭球形晶粒,并沿外电场方向呈织构取向。与未加电场的热蒸发沉积膜相比,具有较为均匀、有序的表面微观结构。②SiO2表面Au-Ag复层薄膜在直流电场作用下,Au,Ag物种同时向负极方向作走向迁移扩散,这与Au-Ag复层薄膜在Si(111)表面电迁移时Au,Ag分别向两极扩散的特点不同,反映了衬底性质对表面原子电迁移的影响。③Au-Ag复膜在电迁移过程中还发生了表面原子聚集状态的变化,原来沉积排布的细小晶粒在电迁移扩散过程中出现不均匀长大,导致薄膜表面粗糙度显著增加。
时方晓曹立礼
关键词:SAM表面形貌电迁移
电场对Au-Ag薄膜结构影响的AFM和VAXPS研究被引量:2
1998年
利用原子力显微镜(AFM)和变角X射线光电子谱(VAXPS)技术研究了Au-Ag/SiO2体系在直流电场作用下,Au、Ag电迁移的特点及所引起的薄膜结构的变化。观察到较低温度下Au、Ag聚集状态的显著变化。发现电迁移过程中Au-Ag薄膜与SiO2基底之间存在界面化学反应,膜层中Au、Ag、Si等元素的化学状态发生了相应的变化。这些结果表明SiO2表面上Au-Ag复合薄膜电迁移不只是一个水平方向的扩散,而是一个复杂的物理化学过程。在此基础上提出了电场作用下Au-Ag薄膜迁移扩散反应机制。
时方晓叶小燕姚文清曹立礼董宇辉
关键词:电迁移AFM
共1页<1>
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