朴林华
- 作品数：179 被引量：100H指数：6
- 供职机构：北京信息科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市重点实验室开放基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>
- 一种提高无掩膜光刻机图形质量的方法
- 2021年
- 针对无掩膜光刻技术在进行大面积图形曝光时会出现曝光质量差,精度低,程序繁等问题,该文提出了一种改善无掩膜光刻机图形质量的方法。通过设置“L”型定位标记将图形尺寸进行精确定位,再通过单场图像格式重命名系统,解决大面积图形切割过程中的乱序问题,最后提出了一种寻找最佳曝光位置的方法,以提高单场图形的曝光质量。该文提出了一种减小大面积图形拼接误差的方法,以提高整体图形的拼接质量;同时还提出了一种二次光刻的对准方法及对准误差校正方法,该方法与已有的套刻方法有区别。通过实验进行验证和分析,结果表明,该方法能有效地提高大面积图形的曝光质量,x、y方向的拼接误差距离均缩小到1μm内,对准误差精度达到±0.3μm。该研究为后续的光刻工艺及湿法腐蚀工艺奠定了理论基础。
- 李备朴林华王育新张严
- 关键词：显微镜
- 一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺
- 本实用新型公开了一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板...
- 王育新朴林华朴然李美樱王灯山
- 文献传递
- 气流式角速度传感器
- 一种气流式角速度传感器包括测试腔体，设置在所述测试腔体中心位置的敏感元件，对称设置在测试腔体两端的两个压电泵，与测试腔体和压电泵相连通的气体循环通道和信号处理电路；测试腔体为沿轴向中心、径向中心均对称的腔体，在测试腔体的...
- 朴林华王星余全刚
- 文献传递
- 一种热膨胀流三轴加速计
- 本实用新型公开了一种热膨胀流三轴加速计，包括：顶盖和底座；顶盖的底面上设置有向外延伸的凸缘，凸缘内设置有圆柱形上腔室，上腔室内设置有四根呈方形排布的绝缘子，四根所述绝缘子上设置有两根用于敏感Z轴方向加速度的热敏丝；所述底...
- 任安润朴林华朴然王灯山王育新田文杰
- 微机械开放式射流陀螺的敏感原理和数值仿真
- 2017年
- 提出了一种基于开放式气流通道的微机械射流陀螺的设计、敏感原理和数值仿真。敏感元件内部气流的运动采用基于流固耦合的三维瞬态数值分析计算,计算和测试结果表明:(1)气流在压电泵的驱动下,由开放式气流通道的两个入口进入并汇聚,由喷口喷出并在射流敏感室形成射流敏感体,在入口和出口之间形成定向流动。(2)射流敏感体在哥氏力的作用下发生偏转,与作为电桥臂的热线发生热量交换,导致电桥输出与输入角速度成正比的不平衡电压。(3)陀螺灵敏度为SFZ=2.0μV/°/s,非线性度优于0.5%。
- 朴林华朴然常兴远胡永辉
- 关键词：MEMS角速度热线
- 硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器
- 本申请公开了一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET...
- 朴林华朴然田文杰
- 文献传递
- 气流式水平姿态传感器热敏丝结构的研究被引量：1
- 2015年
- 文中对比研究了气流式水平姿态传感器二丝和三丝两种热敏感丝结构。利用FLUENT-CFD软件,通过建立模型、划分网格、求解等途径,分别计算了二丝结构和三丝结构的气流式水平姿态传感器在不同倾角和不同热源温度下的敏感元件内的流场。计算结果表明,三丝结构传感器对倾角变化的速度灵敏度Δv/Δθ为0.383 1×10^-3m/（s·°）,二丝结构的为0.248 7×10^-3m/（s·°）;三丝结构传感器的倾角测量范围为0-30°,二丝结构的为0-20°;三丝结构传感器敏感元件内部的速度差变化量随热源温度变化的变化率为0.89×10^-5m/（s·℃）,二丝结构的为7.5×10^-5m/（s·℃）,三丝结构气流式水平姿态传感器在敏感倾角和温度方面的性能优于二丝结构。
- 杨其锐朴林华赵京京秦艺谭家成
- 关键词：气流式水平姿态传感器灵敏度倾角热源温度
- 一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器
- 本申请公开了一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，该传感器包括单循环气流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式平面双轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；PE...
- 朴林华朴然田文杰
- 文献传递
- 气流式水平姿态传感器数据拟合技术的研究
- 2010年
- 为了提高气流式水平姿态传感器的环境性能,将数据插值拟合方法应用在该传感器的软件温度补偿中。采用拉格朗日插值和分段线性插值法,运用Matlab软件计算并比较2种算法,把算法应用在温度补偿中,计算出温度补偿完成后零位电压值。结果表明,高次插值的runge现象使得拉格朗日数据拟合精度降低;而分段线性插值法更能准确地反映环境温度与零位电压的变化,可以为温度补偿提供精确的参考值。采用分段线性插值进行温度补偿后,环境温度的影响几乎为零,零位电压稳定在2.0V/°C,同时分段线性插值运算量少。这两点有利于提高后续补偿的精度,降低传感器的响应时间,对气流式水平姿态传感器的实用化研究和批量生产有重要意义。
- 李白华朴林华纪明明
- 关键词：温度补偿MATLAB拉格朗日插值
- 一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺
- 本发明公开了一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈矩形结构的一对加热器和一对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一长方体凹槽；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的...
- 朴林华王育新朴然李美樱王灯山
- 文献传递
