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李苏斌

作品数：9 被引量：2H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 7篇椭偏仪
  • 4篇旋转补偿器
  • 4篇系统模型
  • 3篇器型
  • 3篇光强
  • 2篇调整装置
  • 2篇旋钮
  • 2篇仪器
  • 2篇增量式编码器
  • 2篇探测器
  • 2篇条件数
  • 2篇自动调整装置
  • 2篇系统参数
  • 2篇校准
  • 2篇结构类型
  • 2篇均值
  • 2篇光学测量仪器
  • 2篇分光
  • 2篇分光镜
  • 2篇编码器

机构

  • 9篇华中科技大学

作者

  • 9篇李苏斌
  • 8篇刘世元
  • 8篇张传维
  • 6篇杜卫超
  • 4篇李伟奇
  • 4篇谷洪刚
  • 2篇陈修国

年份

  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2013
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是...
刘世元李苏斌李伟奇张传维杜卫超
文献传递
一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法
本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得n阶旋转补偿器型椭偏仪椭偏仪系统误差与元件误差之间的关系。最后...
刘世元杜卫超张传维谷洪刚李苏斌
文献传递
一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及其方法
本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准，包括前光路和后光路的对准；在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮，使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束；微调样品台上的旋...
刘世元李苏斌陈修国李伟奇张传维
文献传递
一种椭偏仪系统参数的优化方法
本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵W；然后计算椭偏仪系统矩阵W在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵W条件数的最大值与最...
刘世元杜卫超张传维谷洪刚李苏斌
文献传递
双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统设计
椭偏仪对于纳米级样件结构测量有很广泛的应用前景，双旋转补偿器型全穆勒矩阵椭偏仪由于能够快速测得穆勒矩阵中全部16个元素，在薄膜和纳米结构测量等领域都有很大的优势。双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪从其测量原理上看，双补偿器的同...
李苏斌
一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是...
刘世元李苏斌李伟奇张传维杜卫超
文献传递
一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及其方法
本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准，包括前光路和后光路的对准；在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮，使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束；微调样品台上的旋...
刘世元李苏斌陈修国李伟奇张传维
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一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法
本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得n阶旋转补偿器型椭偏仪椭偏仪系统误差与元件误差之间的关系。最后...
刘世元杜卫超张传维谷洪刚李苏斌
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一种椭偏仪系统参数的优化方法
本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵W；然后计算椭偏仪系统矩阵W在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵W条件数的最大值与最...
刘世元杜卫超张传维谷洪刚李苏斌
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