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杨振江

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：西北工业大学材料学院材料学系更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇金刚石
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇杨振江
  • 1篇刘正堂
  • 1篇张贵锋
  • 1篇耿东生

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热丝CVD法制备C-N薄膜的结构分析被引量：3
1998年
用热丝 CVD法 ,以甲烷、氮气和氢气为气源 ,在 Si( 1 1 1 )衬底上沉积了C- N薄膜。用 X射线光电子谱 ( xps)、喇曼光谱 ( RS)、X射线衍射 ( XRD)和扫描电镜( SEM) ,对 C- N薄膜的结构及生长速率进行了分析研究。结果表明 :C- N薄膜的结构为非晶态 ,同时含有金刚石和石墨相 ;氮以三种不同的化学键合状态存在于膜中 ,其中 β键合状态的结合能与晶态 β- C3N4的结合能接近 ;随混合气体中氮气含量增加 ,C- N薄膜的生长速率减小。
耿东生杨振江刘正堂张贵锋
关键词：金刚石
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共1页<1>
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