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王建民
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国石油天然气集团公司
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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王建民
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2005
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MEMS差动电容加速度传感器
被引量:7
2005年
介绍了一种 MEMS 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 MEMS Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了 MEMS 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理,不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移,结构合理,达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。
唐晓刚
颜永安
王建民
牛德芳
关键词:
MEMS
石油勘探
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