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陈江红
作品数:
2
被引量:8
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈阳
中国电子科技集团公司第四十八研...
李爱成
中国电子科技集团公司第四十八研...
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文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
2篇
电子电信
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1篇
典型应用
1篇
电路
1篇
电子束
1篇
离子注入
1篇
集成电路
1篇
超大规模集成
1篇
超大规模集成...
1篇
大规模集成电...
机构
2篇
中国电子科技...
作者
2篇
陈江红
2篇
陈阳
1篇
李爱成
传媒
2篇
电子工业专用...
年份
2篇
2004
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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相关度排序
被引量排序
时效排序
前进中的曝光技术
2004年
简述了曝光的历史和发展趋势及当前的技术状态和技术难点,指出了将来的发展思路。
陈江红
陈阳
关键词:
电子束
超大规模集成电路
离子注入技术的发展及其应用
被引量:8
2004年
简述了离子注入技术的发展趋势及典型应用,并简要分析了该领域的技术发展方向。
陈江红
陈阳
李爱成
关键词:
离子注入
典型应用
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