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陈江红

作品数:2 被引量:8H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇典型应用
  • 1篇电路
  • 1篇电子束
  • 1篇离子注入
  • 1篇集成电路
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇陈江红
  • 2篇陈阳
  • 1篇李爱成

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2004
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
前进中的曝光技术
2004年
简述了曝光的历史和发展趋势及当前的技术状态和技术难点,指出了将来的发展思路。
陈江红陈阳
关键词:电子束超大规模集成电路
离子注入技术的发展及其应用被引量:8
2004年
简述了离子注入技术的发展趋势及典型应用,并简要分析了该领域的技术发展方向。
陈江红陈阳李爱成
关键词:离子注入典型应用
共1页<1>
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