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张东风
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中国科学院合肥物质科学研究院
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合作作者
陶永春
中国科学院合肥物质科学研究院
倪林
中国科学院合肥物质科学研究院
梅涛
中国科学院合肥物质科学研究院
张正勇
中国科学院合肥物质科学研究院
孙磊
中国科学院合肥物质科学研究院
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张东风
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倪林
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陶永春
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2007
1篇
2006
1篇
2005
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磁敏传感器阵列及其制造方法
本发明公开了一种单片式磁敏传感器阵列及其制造方法。传感器阵列由多个相同的磁敏感单元以二维方式排列而成,每个磁敏感单元为由两个相同的磁敏二极管组成的差分对结构,磁敏二极管是双注入型或单注入型磁敏二极管,其中每个磁敏二极管仅...
孔德义
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磁敏传感器阵列及其制造方法
本发明公开了一种单片式磁敏传感器阵列及其制造方法。传感器阵列由多个相同的磁敏感单元以两维方式排列而成,每个磁敏感单元为由两个相同的磁敏二极管组成的差分对结构,磁敏二极管是双注入型或单注入型磁敏二极管,其中每个磁敏二极管仅...
孔德义
张东风
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张正勇
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孙磊
文献传递
MEMS 磁敏二极管阵列的设计与实验研究
张东风
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