卜丹
- 作品数:18 被引量:24H指数:3
- 供职机构:黑龙江大学电子工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信文化科学一般工业技术更多>>
- 基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法
- <B>基于</B> <B>MEMS</B> <B>的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法。</B> <B>目前,</B> <B>MEMS</B> <B>技术能量回收研究过程中,面临的微米尺度空隙悬臂梁上</B> <B>P...
- 邱成军陈晓洁曲伟卜丹林连冬
- 文献传递
- MEMS硅梁谐振式传感器的研究被引量:1
- 2008年
- 通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究,结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析,设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器,这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点。对研究制作过程中的关键工艺——各向异性腐蚀技术,尤其是对低温下的腐蚀工艺进行了实验研究,采用高低温相结合的湿法腐蚀工艺制作了微悬臂梁结构,通过实验分析了利用新型有机薄膜对各向异性腐蚀过程中的MEMS器件金属电极的保护效果,为实际生产和设计提供了参考依据。
- 卜丹邱成军
- 关键词:传感器微电子机械系统悬臂梁各向异性湿法腐蚀
- 高温电感测控电路的研制
- 利用电感随井管材料介质变化的特点,研制了适合于井下高温环境的电感测控电路。该电路把生成的电压三角波转换成电流三角波,由电感作用形成方波,经绝对值电路实现随材料介质变化的直流信号。该电路具有高温下使用可靠性强、控制精确、便...
- 邱成军吴大军孟庆旭卜丹
- 关键词:电感传感器磁场测量
- 文献传递
- Fabrication of Piezoelectrically Driven Micropump with Sol-Gel PZT Films
- Piezoelectrically driven micropump using Pb (Zr,Ti)O3 (PZT) film has been successfully fabricated by Sol-Gel t...
- 邱成军曲伟刘红梅卜丹赵全亮曹茂盛
- 关键词:SOL-GELMICROPUMPMEMS
- MEMS硅微悬臂梁谐振器的仿真设计
- 本文研究了硅微悬臂梁谐振器工作原理,给出了微悬臂梁谐振器的MEMS仿真加工工艺.通过Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器进行了机械特性分析,探讨了微悬臂梁尺寸与固有频率之间的关系;对提高MEMS器件设计的效率和...
- 卜丹邱成军刘红梅魏娜
- 关键词:MEMS悬臂梁谐振器仿真
- 文献传递
- 定向井轨迹的磁控测量系统被引量:7
- 2004年
- 为了实现油田钻井过程中井轨迹定向的测量 ,利用磁感应强度随井管材料介质变化的特点 ,开发了定向井轨迹的磁控测量系统。该系统具有体积小 ,功耗低 ,可靠性强等优点 ,实现了在井下 85℃环境中对预测点自动照相及数据采集功能。
- 邱成军卜丹
- 关键词:磁控单片机
- 定向井轨迹的单片机单/多点测量系统被引量:3
- 2004年
- 为了实现油田钻井过程中井轨迹定向的测量,利用单片机的定时和控制功能开发出单/多点测量及数据采集系统。由于PIC16C54单片机具有体积小,功耗低,可靠性强等优点,实现了单片机在地下85℃环境下采用电池电源工作,定时照相和对井下定位数据的自动采集等功能。
- 邱成军卜丹平占彪
- 关键词:定向井轨迹单片机数据采集系统定向钻井
- 基于嵌入式系统人员计数统计的方法及设备
- 基于嵌入式系统人员计数统计的方法及设备,现有的采集人体信息的方式所采集的信息都是杂乱的。本发明方法:信号采集:将信号采集装置的探测器放置在人体通过区域的顶部,经过改造的光学系统,红外热释电传感器只对限定探测区域内的人体信...
- 邱成军窦雁巍卜丹邓舸古力
- 文献传递
- 基于MEMS的硅梁谐振式气体传感器研制
- 本课题研究了一种基于MEMS技术的具有微悬臂梁结构的谐振式气体传感器。从理论上阐述了微悬臂梁结构谐振式气体传感器的工作原理,设计了微悬臂梁的结构、工艺版图以及自激闭环谐振电路系统;利用Intellisuit软件模拟并分析...
- 卜丹
- 关键词:悬臂梁谐振气体传感器软件模拟力学特性
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- 基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法
- <b>基于</b><b>MEMS</b><b>的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法。</b><b>目前,</b><b...
- 邱成军陈晓洁曲伟卜丹林连冬
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