张南峰
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：东华大学信息科学与技术学院更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 基板二次预对准定心定向数学模型的研究
- 2013年
- 高精度的预对准分系统是设计现代光刻机需要解决的核心问题之一。在光刻机上载基板的工作过程中,需要进行多次基板对准,主要有:基板预对准、基板二次预对准、基板对准。为了建立基板二次预对准定心定向数学模型,基于基板二次预对准的工作原理,提出了计算定心定向的算法,对该算法进行了仿真分析,并根据输入输出建立了定心定向数学模型。该数学模型的建立,为提高二次预对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。
- 景帅真范红黄栋梁张南峰赵秋锦
- 关键词：光刻机硅片
- 基于异构计算的光刻机曝光分系统剂量控制板的分析与设计
- 2013年
- 在集成电路制造设备中,投资最大、技术最复杂同时也是最关键的设备是光刻机。本文研究的剂量控制板是光刻机曝光分系统剂量控制模块中重要硬件板卡,也是硅片扫描控制系统与其硬件曝光分系统的接口板。剂量控制是剂量控制板最重要的任务,即当需要执行曝光时,剂量控制板负责控制触发激光并测量脉冲能量值。剂量控制包含复杂的实时并发多任务管理。
- 张南峰许武军赵秋锦黄栋梁
- 关键词：光刻机异构计算
