您的位置： 专家智库 > >

景帅真

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：东华大学信息科学与技术学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇定心
  • 1篇数学模型
  • 1篇基板
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇硅片

机构

  • 1篇东华大学

作者

  • 1篇张南峰
  • 1篇范红
  • 1篇赵秋锦
  • 1篇景帅真

传媒

  • 1篇电子设计工程

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基板二次预对准定心定向数学模型的研究
2013年
高精度的预对准分系统是设计现代光刻机需要解决的核心问题之一。在光刻机上载基板的工作过程中,需要进行多次基板对准,主要有:基板预对准、基板二次预对准、基板对准。为了建立基板二次预对准定心定向数学模型,基于基板二次预对准的工作原理,提出了计算定心定向的算法,对该算法进行了仿真分析,并根据输入输出建立了定心定向数学模型。该数学模型的建立,为提高二次预对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。
景帅真范红黄栋梁张南峰赵秋锦
关键词：光刻机硅片
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0