殷玲
- 作品数：8 被引量：32H指数：4
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部高等学校骨干教师资助计划高等学校骨干教师资助计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 可编程相位光栅结构的微机械特性研究被引量：4
- 2003年
- 描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果。光栅样机采用硅微机械技术加工而成,其测试结果表明,光栅样机的频响特性基本符合理论推导与仿真结果,光带谐振频率在120Hz～240Hz的区间之内,截止频率约为7.14kHz;光带的响应时间与回复时间相当,约为70μs。
- 殷玲陈非凡
- 关键词：微光机电系统微机电系统
- 可编程相位光栅的结构设计与制作工艺被引量：2
- 2003年
- 可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变。通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构;并对光栅的光带结构参数进行了优化,从而有利于可编程相位光栅功能的实现,提高了制作的可靠性和成功率;设计了针对可编程相位光栅的表面硅微工艺,并对改善应力、去牺牲层和防粘连等关键问题进行了分析,改进了工艺,成功研制出样品,其结构尺寸约为4mm×6mm,有效工作部分的面积约为4mm×2mm.
- 殷玲陈非凡
- 关键词：MEMS微光机电系统光通讯
- 微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析
- 微纳米技术的迅速发展促使微机电系统(MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统(MOEMS),从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能。在MOEMS的设计中,仅用传统的分析手段已经不够,其建模和仿真需要用到有限元分析。本...
- 陈非凡殷玲
- 关键词：有限元分析
- 文献传递
- 微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望被引量：16
- 2002年
- 微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特征 ,列举了一些典型的MOEMS系统 。
- 陈非凡殷玲李云龙
- 关键词：微光机电系统MOEMS微机电系统MEMS
- 微型可编程相位光栅的理论特性研究被引量：8
- 2002年
- 本文提出了一种基于微光机电系统 ( MOEMS)的新型可编程相位光栅技术 ,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究 ,同时给出部分数值仿真结果 ,并得出了一些重要的结论。
- 陈非凡李云龙殷玲
- 关键词：微光机电系统光谱技术
- 一种静电驱动微机械元件的结构模型被引量：6
- 2002年
- 静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较深入的研究,探讨了各主要结构参数及控制电压对结构驱动性能的影响。结果表明,在设计尺度范围内,微梁主要结构参数按照对光带变形的影响大小排列分别为微梁厚度、微梁变形前与衬底间的距离及微梁长度.
- 殷玲陈非凡李云龙
- 关键词：微机械元件微机电系统有限元分析静电驱动
- 微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析被引量：5
- 2001年
- 微纳米技术的迅速发展促使微机电系统 (MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统 (MOEMS) ,从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能。在 MOEMS的设计中 ,仅用传统的分析手段已经不够 ,其建模和仿真需要用到有限元分析。本文提出了一种可编程相位光栅的可变形结构 ,运用经典理论建模 ,通过计算得到其变形的定性分析结果和定量的近似结果 ,并提出一个用有限元分析软件 ANSYS进行有限元建模的实例 。
- 陈非凡殷玲
- 关键词：有限元分析
- MOEMS可编程相位光栅技术及其原理性实验研究
- 殷玲
- 关键词：光谱分析微光机电系统
