金桐
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：南开大学信息技术科学学院机器人与信息自动化研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真被引量：1
- 2006年
- 微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性.
- 金桐赵新谭宜勇孙广毅卢桂章
- 关键词：MEMS电容式微加速度计
- 基于虚拟现实技术的MEMS设计环境
- 赵新卢桂章刘景泰安刚张蕾张红光谭宜勇任亮王凯杜书印金桐孙广毅李亚威周弋云
- 该课题在现有的静态分析基础上，研究对所设计的MEMS器件建立动态（运动）模型；针对特定的工艺过程，提取专家知识，建立虚拟工艺；建立MEMS部件库的整体框架，部件描述和应用将现有成功的MEMS器件，收集进入部件库；以部件库...
- 关键词：
- 关键词：虚拟现实
- 微电子机械器件的计算机仿真设计方法
- 一种微电子机械器件的计算机仿真设计方法。该设计方法包括：部件库(结构部件和运动部件)的建立，运动部件除结构部件所具有的参数外，还要有与结构部件相对应的动态运动模型及其解。虚拟工艺设计，本发明采用专家系统的方法实现虚拟工艺...
- 卢桂章赵新谭宜勇孙广毅金桐王磊
- 文献传递
- MEMS器件设计与优化
- 在已有的工艺技术条件下，设计出能实现特定的应用目的MEMS器件并最终实现产业化，这是所有MEMS研究的出发点以及最终的目的所在。MEMG的结构设计与优化对于缩短它的研制周期、降低成本、提高产品性能有着极为重要的意义。微加...
- 金桐
- 关键词：微加速度传感器有限元分析优化设计微加速度计
- 文献传递
- 一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真
- 微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有...
- 金桐赵新谭宜勇孙广毅卢桂章
- 关键词：MEMS电容式微加速度计加速度传感器
- 文献传递
- 电容式微加速度计的研制被引量：4
- 2008年
- 以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
- 谭宜勇金桐苏卫国赵新卢桂章
- 关键词：MEMS电容式微加速度计
- 微电子机械(MEMS)的设计与新器件研究
- 卢桂章赵新安刚张蕾谭宜勇孙广毅王磊金桐何维玮赵旭孙程
- 课题组主要成员谭宜勇博士在北京大学微电子所作为主要成员参与的针对Bosch/RIE/ISOTROPIC等工艺的二维仿真器研究相关成果，已经集成到IntelliSense公司MEMS设计软件之中，成为IntelliSens...
- 关键词：
- 关键词：微电子机械
