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文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇激光
  • 2篇移动台
  • 2篇双光子
  • 2篇涂敷
  • 2篇离子
  • 2篇金属
  • 2篇金属离子
  • 2篇激光光源
  • 2篇激光束
  • 2篇计算机控制
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光镊
  • 2篇光束
  • 2篇光源
  • 2篇光子

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇陈述
  • 4篇段宣明
  • 4篇曹洪忠
  • 4篇董贤子
  • 4篇赵震声
  • 2篇张严波
  • 2篇杨富华
  • 2篇贾雁鹏
  • 2篇颜伟
  • 2篇韩伟华

年份

  • 2篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2011
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法
本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源,提供第二激光束的激光光源,用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件,和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤:...
段宣明曹洪忠贾雁鹏陈述董贤子赵震声
利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法
本发明涉及一种利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法。该方法包括以下步骤:在衬底上涂敷光刻胶形成光刻胶层;用激光束照射所述光刻胶,通过激光双光子吸收效应对所述光刻胶的指定位置进行曝光;对所述光刻胶进行显影;将所得到...
段宣明陈述曹洪忠韩伟华颜伟张严波董贤子杨富华赵震声
一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法
本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源,提供第二激光束的激光光源,用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件,和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤:...
段宣明曹洪忠贾雁鹏陈述董贤子赵震声
文献传递
利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法
本发明涉及一种利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法。该方法包括以下步骤:在衬底上涂敷光刻胶形成光刻胶层;用激光束照射所述光刻胶,通过激光双光子吸收效应对所述光刻胶的指定位置进行曝光;对所述光刻胶进行显影;将所得到...
段宣明陈述曹洪忠韩伟华颜伟张严波董贤子杨富华赵震声
文献传递
共1页<1>
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