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曹洪忠
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4
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供职机构:
中国科学院理化技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵震声
中国科学院理化技术研究所
董贤子
中国科学院理化技术研究所
段宣明
中国科学院理化技术研究所
陈述
中国科学院理化技术研究所
韩伟华
中国科学院理化技术研究所
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机构
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中国科学院
作者
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陈述
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段宣明
4篇
曹洪忠
4篇
董贤子
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赵震声
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张严波
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杨富华
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贾雁鹏
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颜伟
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韩伟华
年份
2篇
2014
1篇
2012
1篇
2011
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一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法
本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源,提供第二激光束的激光光源,用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件,和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤:...
段宣明
曹洪忠
贾雁鹏
陈述
董贤子
赵震声
利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法
本发明涉及一种利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法。该方法包括以下步骤:在衬底上涂敷光刻胶形成光刻胶层;用激光束照射所述光刻胶,通过激光双光子吸收效应对所述光刻胶的指定位置进行曝光;对所述光刻胶进行显影;将所得到...
段宣明
陈述
曹洪忠
韩伟华
颜伟
张严波
董贤子
杨富华
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一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法
本发明涉及一种利用激光制作金属微纳结构的系统与方法。该系统包括提供第一激光束的脉冲激光光源,提供第二激光束的激光光源,用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点的光学聚焦组件,和计算机控制的微移动台。该方法包括以下步骤:...
段宣明
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贾雁鹏
陈述
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利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法
本发明涉及一种利用激光双光子直写技术制作微纳结构器件的方法。该方法包括以下步骤:在衬底上涂敷光刻胶形成光刻胶层;用激光束照射所述光刻胶,通过激光双光子吸收效应对所述光刻胶的指定位置进行曝光;对所述光刻胶进行显影;将所得到...
段宣明
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