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胡小邦

作品数：20 被引量：15H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 9篇光刻
  • 7篇光刻机
  • 6篇透镜
  • 6篇光源
  • 5篇调整架
  • 5篇照明
  • 5篇镜面
  • 4篇透镜阵列
  • 4篇微透镜
  • 4篇微透镜阵列
  • 4篇光纤
  • 4篇光学
  • 4篇测量方法
  • 3篇照明系统
  • 3篇装调
  • 3篇激光
  • 3篇光电
  • 2篇迭代
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理

机构

  • 20篇中国科学院上...
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 20篇胡小邦
  • 20篇黄惠杰
  • 18篇杨宝喜
  • 12篇李璟
  • 10篇陈明
  • 7篇张方
  • 6篇朱菁
  • 6篇黄立华
  • 5篇师中华
  • 4篇肖艳芬
  • 4篇张友宝
  • 3篇曾爱军
  • 3篇侯莉颖
  • 2篇薛佩佩
  • 2篇马兴华
  • 2篇刘蕾
  • 2篇张佩
  • 2篇谢承科
  • 2篇孙征宇
  • 2篇马健

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇光学学报

年份

  • 2篇2019
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 4篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光学透镜中心厚度的非接触式测量装置和测量方法
一种光学透镜中心厚度非接触式测量装置和测量方法，装置的构成包括低相干光干涉测量系统、主控计算机、图像传感器、准直器、分光镜、第一透镜、第二透镜、圆柱体自定心夹持架、二维水平调节台、二维连体平移台、第一平面镜、第二平面镜、...
杨宝喜金超群胡小邦张方马健黄惠杰
文献传递
多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法
一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法，该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块、信号处理模块、驱动模块、光栅尺反馈模块、N个限位感应块及N个电机，其中N为3以上是正整数。本发明能实现多个...
胡小邦张友宝孙征宇杨宝喜李璟黄惠杰
高精度光学间隔测量装置和测量方法
一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感...
杨宝喜魏张帆胡小邦李璟陈明朱菁薛佩佩黄惠杰
文献传递
光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法
一种光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一光纤环形器、第二光纤环形器、第一光纤准直器、电机驱动移动平台、可移动扫描反射镜、第...
杨宝喜师中华胡小邦魏张帆李璟陈明黄惠杰
文献传递
光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法
一种光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法，检测装置的过程包括准分子激光器，沿该准分子激光器的输出光束方向依次是同轴的扩束镜、能量衰减片、光阑、聚光镜和图像传感器，所述的微透镜阵列置于二维电动平台上，所述的微透镜阵列的后...
肖艳芬朱菁杨宝喜胡小邦张方黄惠杰李璟陈明
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高精度光学间隔测量装置和测量方法
一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感...
杨宝喜魏张帆胡小邦李璟陈明朱菁薛佩佩黄惠杰
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长导轨直线度测量装置
一种长导轨直线度测量装置，包括测量头、角锥镜装置和计算机；测量头包括激光器，依次排列在激光器出射光路上的第一反射镜、第二反射镜、第一激光准直扩束镜、光阑、第三反射镜、分光镜和窗口玻璃，位于测量光路上的第二激光准直扩束镜、...
杨宝喜李璟胡小邦侯莉颖黄立华黄惠杰
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光刻机照明系统中光束稳定技术研究被引量：5
2012年
光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成,推导了两个模块之间的光束传递矩阵,并基于LabView搭建了光电闭环控制实验系统。对系统性能进行了测试,通过人为引入已知光束漂移量得到如下结果:系统的指向稳态误差低于±3μrad,位置稳态误差低于±0.04mm,系统调整时间小于80ms。结果表明该系统可以精确地把光束稳定在需要的指向和位置。
鲍建飞黄立华曾爱军任冰强杨宝喜彭雪峰胡小邦黄惠杰
关键词：光学设计光刻技术闭环控制
一种光刻机照明控制测试系统及方法
本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处...
张友宝马兴华胡小邦谢承科黄立华侯莉颖黄惠杰
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光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法
一种光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一光纤环形器、第二光纤环形器、第一光纤准直器、电机驱动移动平台、可移动扫描反射镜、第...
杨宝喜师中华胡小邦魏张帆李璟陈明黄惠杰
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